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第7章 光电式传感器

7.1 1.2 7.2

光电效应

光电器件及其特征

7.4

光电传感器及其应用

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光电式传感器是将光通量转换为电量的一种传 感器,光电式传感器的基础是光电转换元件的光电 效应。 光电器件是构成光电式传感器最主要的部件。 光电式传感器的工作原理如图所示:首先把被测量 的变化转换成光信号的变化,然后通过光电转换元 件变换成电信号。图中x1表示被测量能直接引起光量 变化的检测方式;x2表示被测量在光传播过程中调制 光量的检测方式。

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补充内容: 光谱

光波: 波长为10—106nm的电磁波 可见光:波长380—780nm 紫外线:波长10—380nm 波长300—380nm称为近紫外线 波长200—300nm称为远紫外线 波长10—200nm称为极远紫外线 红外线:波长780—106nm 波长3μm(即3000nm)以下的称近红外线 波长超过3μm 的红外线称为远红外线

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光谱分布如图所示:

波长/μm

0.01 0.05 极远紫外 0.1 0.5 远 近 可见光 紫 紫 外 外 1 5 近红外 远红外 10

光的波长与频率的关系由光速确定,真空中的光 速c=2.99793×108m/s,通常c≈3×108m/s。光的波长 λ和频率f 的关系为

λf=3×108m / s

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7.1 光电效应

光电效应是指物体吸收了光能后转换为该物体中 某些电子的能量,从而产生的电效应。光电传感器的 工作原理基于光电效应。光电效应分为外光电效应和 内光电效应两大类。 7.1.1 外光电效应 在光线作用下,物体内的电子逸出物体表面向 外发射的现象称为外光电效应。向外发射的电子叫 光电子。基于外光电效应的光电器件有光电管、 光 电倍增管等。多发生于金属和金属氧化物,从光开 始照射至金属释放电子所需时间不超过10-9s。

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一束光是由一束以光速运动的粒子流组成的,这 些粒子称为光子。光子具有能量,每个光子具有的能 量由下式确定: (7-1) E=hf

式中: h-普朗克常数=6.626×10-34(J·s) f-光的频率(s-1)。

光的波长越短,即频率越高,其光子的能量也越 大; 反之,光的波长越长,其光子的能量也就越小。 光照射物体,可以看成一连串具有一定能量的光 子轰击物体,根据爱因斯坦假设,一个电子只能接受 一个光子的能量,所以要使一个电子从物体表面逸出, 必须使光子的能量大于该物体的表面逸出功,超过部 分的能量表现为逸出电子的动能。 检测技术

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根据能量守恒定理

式中:m

——电子质量; v0——电子逸出速度。

1 2 hf  mv0  A0 2

(7-2)

式(7-2)为爱因斯坦光电效应方程式.

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1 2 hf  mv0  A0 2

 光电子能否产生,取决于光子的能量是否大于该物 体的表面电子逸出功 A0 。不同的物质具有不同的逸 出功,即每一个物体都有一个对应的光频阈值,称 为红限频率。  当入射光的频谱成分不变时,产生的光电流与光强成 正比。即光强愈大,入射光子数目越多,逸出的电子 数也就越多。  光电子逸出物体表面具有初始动能 mv02 /2 ,因此外 光电效应器件(如光电管)即使没有加阳极电压, 也会有光电子产生。

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7.1.2 内光电效应 光电导效应 在光线作用下,材料内部的电阻率发生变化的现 象称为内光电效应。基于这种效应的光电器件有光敏 电阻。它多发生于半导体内。 在光线作用下,对于半导体材料吸收了入射光子 能量,若光子能量大于或等于半导体材料的禁带宽度, 就激发出电子-空穴对,使载流子浓度增加,半导体的 电导率增加,阻值减低。

导带 自由电子所占能带 不存在电子所占能带 价电子所占能带

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Eg

禁带 价带

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为了实现能级的跃迁,入射光的能量必须大于光 电导材料的禁带宽度Eg,即

hf 

hc

1.24

 Eg

材料的光导性能决定于禁带宽度,对于一种光电 导材料,总存在一个照射光波长限λ0,只有波长小 于λ0的光照射在光电导体上,才能产生电子能级间 的跃进,从而使光电导体的电导率增加。

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7.1.3 光生伏特效应

在光线的作用下能够使物体产生一定方向电动势 的现象称为光生伏特效应。基于该效应的光电器件有 光电池、光敏二极管和光敏三极管。 以PN结为例,光线照射PN结时,设光子能量大于 禁带宽度Eg,使价带中的电子跃迁到导带,而产生电 子空穴对,在阻挡层内电场的作用下,被光激发的电 子移向N区外侧,被光激发的空穴移向P区外侧,从而 使P区带正电,N区带负电,形成光电动势。

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- - - - - -

+ + + + + + + + +

+ + +

- - - - - -

- - - - - -

+ + +

+ + +

P

N

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7.2 光电器件及其特征

7.2.1 光电管与光电倍增管 一、光电管及其基本特性 1、结构

图 7-1 光电管结构

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2、光电管的工作原理 光电管的阴极受到适当的光线照射 后便发射电子,这些

电子被具有一定电 位的阳极吸引,在光电管内形成空间电 子流。如果在外电路中串入一适当阻值 的电阻,则在此电阻上将有正比于光电 管中空间电流的电压降,其值与照射在 光电管阴极上的光亮度成函数关系。

A K

RL E

图 7-2 测量电路

如泡内充入惰性气体,当电子在被吸向阳极的过 程中,运动的电子会对惰性气体进行轰击,并使其产 生电离,于是会有更多的自由电子产生,从而提高了 光电转换灵敏度。

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3、主要性能 (1)光电特性(光照特性) 指当光电管的阳极和阴极之间所加电压一定时,光 通量与光电流之间的关系为光电管的光电特性。 曲线 1 表示银氧铯阴极光 IA/ μA 电管的光照特性,光电 100 流 I 与光通量成线性关系。 曲线 2 为锑铯阴极的光电 75 2 管光照特性,它成非线 50 1 性关系。光照特性曲线 25 的斜率(光电流与入射 0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 Φ/1m 光光通量之间比)称为 光电管的灵敏度。 光电管的光电特性

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(2)伏安特性

IA/ μA

12 10 120μlm 100μlm 80μlm 60μlm 40μlm 20μlm 50 100 150 200

8

6

4

2 0

在一定的光通量下 ,对光电器件的阳极 所加电压与阴极所产 生的电流之间的关系 称为光电管的伏安特 性。光电管的伏安特 性如图所示 。它是应 用光电传感器参数的 主要依据。

极间的电压/V

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(3)光谱特性 由于光阴极对光谱有选择性,因此光电管对光谱也有 选择性。保持光通量和阳极电压不变,阳极电流与光波 长之间的关系叫光电管的光谱特性。

一般对于光电阴极材料不同的光电管,它们有不同的 红限频率f0,因此它们可用于不同的光谱范围。 即使照射在阴极上的入射光的频率高于红限频率f0 , 并且强度相同,随着入射光频率的不同,阴极发射的光 电子的数量还会不同,即同一光电管对于不同频率的光 的灵敏度不同,这就是光电管的光谱特性。

对不同波长区域的光,应选用不同材料的光电阴极。

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二、光电倍增管及其基本特性

当入射光很微弱时,光电管产生的光电流很小,只有零点 几μA,不容易探测,需要用光电倍增管对电流进行放大。 1.光电倍增管结构和工作原理 由光阴极、次阴极(倍增电极) 及阳极三部分组成。光阴 极是由半导体光电材料锑铯做成;次阴极是在镍或铜-铍的 光电阴极 阳极 衬底上涂上锑铯材料而形成 的,次阴极多的可达30级; 阳极是最后用来收集电子的, 收集到的

电子数是阴极发射 电 子 数 的 105~106 倍 。 因 此 第一倍增极 第三倍增极 在很微弱的光照时,它就能 产生很大的光电流。 入射光

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2. 主要参数 (1)倍增系数M 倍增系数 M 等于 n 个倍增电极的二次电子发射系数 δ的乘积。如果n个倍增电极的δ都相同,则M=  n 因 i 此,阳极电流I为 i —光电阴极的光电流 I = i · in M与所加电压有关,M在105~108之间,稳定性为1% 左右,加速电压稳定性要在0.1%以内。一般阳极和阴 极之间的电压为 1000~2500V ,两个相邻的倍增电极的 电位差为50~100V。所加电压越稳越好,这样可以减小 测量误差。

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(2)光电阴极灵敏度和光电倍增管的灵敏度

一个光子在阴极上能够打出的平均电子数叫做光 电倍增管的阴极灵敏度。而一个光子在阳极上产生的 平均电子数叫做光电倍增管的总灵敏度。

(3)暗电流和本底电流 没有光信号输入,加上电压后阳极仍有电流,这 种电流称为暗电流,这是热发射所致或场致发射造成 的,这种暗电流通常可以用补偿电路消除。 如果光电倍增管与闪烁体放在一处,在完全蔽光 情况下,出现的电流称为本底电流,其值大于暗电流。 增加的部分是宇宙射线对闪烁体的照射而使其激发, 被激发的闪烁体照射在光电倍增管上而造成的。

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7.2.2 光敏电阻

1、光敏电阻的工作原理与结构

又称光导管,它几乎都是用半导体材料制成的光 电器件。光敏电阻没有极性,纯粹是一个电阻器件。 当光照射到光电导体上时,若光电导体为本征半 导体材料,而且光辐射能量又足够强,光导材料价带 上的电子将激发到导带上去,从而使导带的电子和价 带的空穴增加,致使光导体的电导率变大。

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光敏电阻的结构如图所示。管芯是一块安装在绝 缘衬底上带有两个欧姆接触电极的光电导体。

电极

引线

引线 光导电材料 光电导体 A 绝缘衬低

金属封装的硫化镉光敏电阻结构图

光电导体吸收光子而产 生的光电效应,只限于 光照的表面薄层,虽然 产生的载流子也有少数 扩散到内部去,但扩散 深度有限,因此光电导 体一般都做成薄层。为 了获得高的灵敏度,光 敏电阻的电极一般采用 梳状图案。

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光敏电阻的灵敏度易受湿度的影响,因此要将导 光电导体严密封装在玻璃壳体中。如果把光敏电阻连 接到外电路中,在外加电压的作用下,

用光照射就能 改变电路中电流的大小,其连线电路如图所示。 光敏电阻具有很高的灵敏度,很好的光谱特性, 光谱响应可从紫外区到红外区范围内。而且体积小、 重量轻、性能稳定、价格便宜,因此应用比较广泛。

I RL RG E

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2、

光敏电阻的主要参数有: (1) 暗电阻与暗电流:光敏电阻在不受光照射时的 阻值称为暗电阻, 此时流过的电流称为暗电流。 (2) 亮电阻与亮电流:光敏电阻在受光照射时的电 阻称为亮电阻,此时流过的电流称为亮电流。 (3) 光电流:亮电流与暗电流之差称为光电流。

光敏电阻的暗电阻越大,而亮电阻越小则性能越好。 也就是说,暗电流越小,光电流越大,这样的光敏电阻 的灵敏度越高。 实用的光敏电阻的暗电阻往往超过1MΩ,甚至高达 100MΩ,而亮电阻则在几kΩ以下,暗电阻与亮电阻之 比在102~106之间,可见光敏电阻的灵敏度很高。

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3、光敏电阻的基本特性 (1)光照特性:在一定外加电压下,光敏电阻的光 电流和光通量之间的关系。不同材料的光照特性是不 同的,绝大多数光敏电阻光照特性是非线性的。因此 它不宜作为测量元件,这是光敏电阻的不足之处。一 般在自动控制系统中常作开关式光电信号传感元件。

I/mA 5 4 3 2 1 0

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1000

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2000

L/lx

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(2)伏安特性:在一定照度下,流过光敏电阻的电 流与光敏电阻两端的电压的关系称为光敏电阻的伏安 特性。由曲线可知,在给定偏压下,光照度较大,光电 流也越大。

40 30 功率 10001 x 500 m W 1001 x

I / mA

20 10 0

101 x 100 U/ V 200

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(3)光谱特性:光谱特性与光敏电阻的材料有关。 从图中可知,硫化铅3光敏电阻在较宽的光谱范围内均 有较高的灵敏度,峰值在红外区域;硫化镉、硒化镉 的峰值在可见光区域。因此,在选用光敏电阻时,应 把光敏电阻的材料和光源的种类结合起来考虑,才能 获得满意的效果。

相 80 对 灵 60 敏 40 度 20 100

1

2

3

1——硫化镉 2——硒化镉 3——硫化铅

0.4

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0.8

1.2

1.6

Page: 29

2.0

2.4

λ/μm

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(4)频率特性:实验证明,当光敏电阻受到脉冲光照

射时,光电流要经过一段时间才能达到稳定值,而在停

止光照后,光电流也不立刻为零,这就是光敏电阻的时

延特性。

100

I/%

硫化铅

80 60

40

20

硫化镉

0

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10

102 103 104 f / Hz

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(5) 温度特性:其性能 ( 灵敏度、暗电阻 ) 受温度 的影响较大。随着温

度的升高,其暗电阻和灵敏度下

降,光谱特性曲线的峰值向波长短的方向移动。硫化

镉的光电流I和温度T的关系如图所示。

I / μA

200 150 100 100 80 60

I/mA

+20 º C

-20 º C

40

20

-50 -30 -10 10 30 50 T/

º C

0

1.0

2.0

3.0

4.0

λ/μm

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7.2.3 光敏二极管和光敏晶体管 1、光敏二极管

光敏二极管的结构与一般二极管相似。它装在透

明玻璃外壳中,其 PN 结装在管的顶部,可以直接受到

光照射。 光敏二极管在电路中一般是处于反向工作状

态。

光 光

P

P N

N

RL

光敏二极管符号

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光敏二极管接线

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 当光不照射时,光敏二极管处于载止状态,这时只 有少数载流子在反向偏压的作用下,渡越阻挡层形成 微小的反向电流即暗电流;  受光照射时,PN结附近受光子轰击,吸收其能量而 产生电子-空穴对,从而使P区和N区的少数载流子浓度 大大增加,因此在外加反向偏压和内电场的作用下, P 区的少数载流子渡越阻挡层进入 N 区, N 区的少数载 流子渡越阻挡层进入 P 区,从而使通过 PN 结的反向电 流大为增加,这就形成了光电流。  光敏二极管的光电流 I 与照度之间呈线性关系。光 敏二极管的光照特性是线性的,所以适合检测等方面 的应用。 检测技术

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2、光敏晶体管 光敏晶体管与一般晶体管很相似,具有两个 PN 结, 如图(a)所示,只是它的发射极一边做得很大,以扩大 光的照射面积。光敏晶体管接线如图 (b) 所示,大多 数光敏晶体管的基极无引出线,当集电极加上相对于 发射极为正的电压而不接基极时,集电结就是反向偏 压。 光

c N P b (a)

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N

e

b RL

c e E

(b)

检测技术 图7-9 NPN型光敏晶体管结构简图和基本电路

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光 c N P b (a) N e b RL (b) c e E

当光照射在集电结上时,就会在结附近产生电子 -空穴对,从而形成光电流,相当于三极管的基极电流。 由于基极电流的增加,因此集电极电流是光生电流的 β 倍,所以光敏晶体管有放大作用。

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7.2.4 光电池

光电池是利用光生伏特效应把光直接转变成电能 的器件。光电池在有光线作用时实质就是电源,电路 中有了这种器件就不需要外加电源。 光电池的工作原理是基于“光生伏特效应”。

硼扩散层 SiO2 膜 P型 电 极 I I A

N型 硅 片

PN 结 电极 (a )

A

(b )

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7.4 光电传感器及其应用

按照光电传感器中光电元件输出电信号的形式 可以将光电传感器分为模拟式和脉冲式两大

类。 7.4.1 模拟式光电传感器  基于光电器件的光电流随光通量而发生变化,是光 通量的函数。  对于光通量的任意一个选定值,对应的光电流就有 一个确定的值,而光通量又随被测非电量的变化而 变化,这样光电流就成为被测非电量的函数。

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吸收式:被测物放在光学通路中, 光源的部分光通量由被测物吸收, 剩余的投射到光电元件上,被吸收 的光通量与被测物的透明度有关。 所以常用来作混浊度计等。 反射式:恒定光源发射的光通量 投射到被测物上,由被测物表面反 射后再投射到光电元件上。反射光 的强弱取决于被测物表面的性质和 状态,因此可用于测量工件表面粗 糙度。

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遮光式:从恒定光源发射出的光 通量在到达光电元件的途中受到被 测物的遮挡,使投射到光电元件上 的光通量减弱,光电元件的输出反 映了被测物的尺寸或位置。这种传 感器可用于工件尺寸测量、振动测 量等场合。 辐射式:光源本身是被测物,它 发出的光投射到光电元件上,光电 元件的输出反映了光源的某些物理 参数。这种型式的光电传感器可用 于照度计。

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7.4.2 脉冲式光电传感器

 光电器件的输出仅有两个稳定状态,也就是“通 ”与“断”的开关状态。  光电器件受光照时,有电信号输出,光电器件不 受光照时,无电信号输出。属于这一类的大多是 作继电器和脉冲发生器应用的光电传感器,如测 量线位移、线速度、角位移、角速度(转速)的光

电脉冲传感器等。

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应用举例: 一、烟尘浊度监测仪 防止工业烟尘污染是环保的重要任务之一。为了 消除工业烟尘污染,首先要知道烟尘排放量,因此必 须对烟尘源进行监测、自动显示和超标报警。烟道里 的烟尘浊度是用通过光在烟道里传输过程中的变化大 小来检测的。如果烟道浊度增加,光源发出的光被烟 尘颗粒的吸收和折射增加,到达光检测器的光减少, 因而光检测器输出信号的强弱便可反映烟道浊度的变 化。

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平行 光源 烟道

光电 探测

放大

显示

报警器

吸收式烟尘浊度检测系统原理图

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2、光电转速传感器

下图是光电数字式转速表的工作原理图。图是在待 测转速轴上固定一带孔的转速调置盘,在调置盘一边由 白炽灯产生恒定光,透过盘上小孔到达光敏二极管组成 的光电转换器上,转换成相应

的电脉冲信号,经过放大 整形电路输出整齐的脉冲信号,转速由该脉冲频率决定。

2

3

1

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7.5 光 纤 传 感 器

光纤传感器是 20 世纪 70 年代中期发展起来的一种 新技术,它是伴随着光纤及光通信技术的发展而逐步 形成的。 光纤传感器和传统的各类传感器相比有一定的优点, 如不受电磁干扰,体积小,重量轻,可绕曲,灵敏度 高,耐腐蚀,高绝缘强度,防爆性好,集传感与传输 于一体等。 光纤传感器能用于温度、压力、应变、位移、速 度、加速度、磁、电、 声和PH值等70多个物理量的测 量,具有极为广泛的应用潜力和发展前景。

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7.5.1

一、光纤结构及其传光原理

光导纤维简称光纤,它是一种特殊结构的光学纤 维,用光透射率高的电介质 ( 如石英、玻璃、塑料等 ) 构成的光通路。结构如图7-16所示。

保护层 包层 n2 纤芯 n1

图7-16 光纤的基本结构

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光纤传光原理: 在光纤中,光的传输限制在光纤中,并随着光纤 能传送很远的距离,光纤的传输是基于光的全内反射。 设有一段圆柱形光纤,它的两个端面均为光滑的 平面。当光线射入一个端面并与圆柱的轴线成 θi角时, 在端面发生折射进入光纤后, 又以φi 角入射至纤芯与包 层的界面,光线有一部分透射到包层,一部分反射回纤 芯。 包层

n0 2 c





i

纤芯

n2

i

n1

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依据光折射和反射的斯涅尔(Snell)定律,有

n1 sin i  n2 sin  '

当φi角逐渐增大,直至φi=θc时,透射入包层的折射光

也逐渐折向界面,直至沿界面传播(φ’=90°)。对应于

φ’=90°时的入射角φi称为临界角θc;由上式则有

sin  c

可见,当φi>θc时,光线将不再折射入包层,而在 介质(纤芯)内产生连续向前的全反射,直至由终端面 射出。这就是光纤传光的工作基础。

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n2  n1

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包层 n0 2 c





i

纤芯

n2

i

n1

根据斯涅耳(Snell)光的折射定律,由图可得

n0 sin  i  n1 sin  ' n1 sin i  n2 sin  '

式中,n0为光纤外界介质的折射率。

(7-4)

(7-5)

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若要在纤芯和包层的界面上发生全反射, 则界面上 的光线临界折射角φc=90°,即φ’≥ φc=90°。 而

  n1 sin  '  n1 sin   i   n1 cos i  n1 1  sin i2 2   n2   n1 1    n sin  '    1 

当φ’=φc=90 °时,有

2

(7-6)

n1 sin  '  n  n

2 1

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2 2

(7-7)

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所以,为满足光在光纤内的全内反射, 光入射到

光纤端面的入射角θi应满足

1 2 2   i   c  arcsin   n n1  n2    0 

(7-8)

一般光纤所处环境为空气,则n0=1,这样式(7-8)可 表示为

2 i  c  arcsin n12  n2

(7-9)

实际工作时需要光纤弯曲,但只要满足全反射条 件,光线仍然继续前进。可见这里的光线“转弯”实 际上是由光的全反射所形成的。

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数值孔径(NA)定义为:

1 2 NA  sin  c  n12  n2 n0

数值孔径是表征光纤集光本领的一个重要参数, 即反映光纤接收光量的多少。其意义是:无论光源发 射功率有多大,只有入射角处于 2θc 的光椎角内,光 纤才能导光。如入射角过大,光线便从包层逸出而产 生漏光。光纤的 NA 越大,表明它的集光能力越强。 所以要适当选择数值孔径的数值,如石英光纤数值孔

径一般为0.2~0.4。

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二、光纤的种类

按折射率分有阶跃型和渐变型二种。阶跃型光 纤纤芯的折射率不随半径而变;但在纤芯与包层界面 处折射率有突变。渐变型光纤纤芯的折射率沿径向由 中心向外呈抛物线由大渐小,至界面处与包层折射率 一致。因此,这类光纤有聚焦作用。

光纤的另一种分类方法是按光纤的传播模式来 分,可分为多模光纤和单模光纤二类。 检测技术

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根据电介质中电磁场的麦克斯韦方程, 考虑到光纤圆 柱波导和纤芯-包层界面处的几何边界条件时只存在波动方 程的特定(离散)的解。每一个允许传播的波称为模式。

①多模光纤:当光纤的纤芯直径远远大于光波波长时, 光纤中会存在着几十种乃至几百种传播模式。不同的传播 模式会具有不同的传播速度与相位,因此经过长距离的传 输之后会产生时延,导致合成信号的畸变。 ② 单模光纤:当光纤的纤芯直径可以与光波长相比拟 时,如芯径在5~10 微米范围,光纤只允许一种模式(基 模)在其中传播,其余的高次模全部截止,这样的光纤叫 做单模光纤。

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光纤传输损耗 : • 光信号在光纤中的传播不可避免地存在着损耗。 • 光纤传输损耗主要有: (1)材料吸收损耗(与组成光纤的材料的 中子受激和分子共振有关,当光的频率与分子的 振动频率接近或相等时,会发生共振,并大量吸 收光能量,引起能量损耗); (2)散射损耗(因光纤拉制时粗细不均匀 引起); (3)辐射性损耗 (因光纤在使用中可能

发 生弯曲引起)。

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7.2.3 1、光纤传感器的工作原理及组成

光纤传感器原理实际上是研究光在调制区内,外界 信号(温度、压力、应变、位移、 振动、电场等)与 光的相互作用,即研究光被外界参数的调制原理。 外 界信号可能引起光的强度、波长、频率、相位、偏振 态等光学性质的变化,从而形成不同的调制。 光纤传感器一般分为两大类:一类是利用光纤本 身的某种敏感特性或功能制成的传感器,称为功能型 传感器;另一类是光纤仅仅起传输光的作用,它在光 纤端面或中间加装其它敏感元件感受被测量的变化, 这类传感器称为非功能型传感器(传光型)。 检测技术

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在用途上,非功能型传感器要多于功能型传感器, 而且非功能型传感器的制作和应用也比较容易,所以 目前非功能型传感器品种较多。功能型传感器的构思 和原理往往比较巧妙,可解决一些特别辣手的问题。 但无论哪一种传感器,最终都利用光探测器将光纤的 输出变为电信号。 光 纤 传感 器 由 光 源 、敏 感 元件 ( 光纤 或 非光 纤 的)、光探测器、信号处理系统以及光纤等组成,如 图 7-18 所示。由光源发出的光通过光纤引到敏感元件, 被测参数作用于敏感元件,使光的某一性质受到被测 量的调制,调制后的光信号经接收光纤耦合到光探测 器,将光信号转换为电信号, 最后经信号处理测得所 需要的被测量。 检测技术

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被测对象 光源

光纤 光纤敏感元件 光探测器 (a ) 被测对象 光源 至信号处理系统

光纤 光敏感元件 光探测器 (b ) 至信号处理系统

图7-18 光纤传感器组成示意图

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2. 光纤温度传感器: 这里介绍一种光强调制型的半导体光吸收型光纤传 感器,图7-19为这种传感器的结构原理图。

半导体光吸收器 输入光纤 输出光纤

光源

探测器

不锈钢套

图7-19 半导体光吸收型光纤温度传感器结构原理图

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光源 输入光纤 半导体光吸收器 输出光纤 探测器

不锈钢套

传感器是由半导体光吸收器、光纤、光源和包括 光探测器在内的信号处理系统等组成的。 光纤是用来传输信号,半导体光吸收器是光敏感 元件,在一定的波长范围内,它对光的吸收随温度 T 变化而变化。

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图7-20 半导体的光透过率特性

图 7-20 为半导体的光透过率特性。半导体材料的 光透过率特性曲线随温度的增加向长波方向移动,如果 适当地选定

一种在该材料工作波长范围内的光源,那么 就可以使透射过半导体材料的光强随温度而变化,探测 器检测输出光强的变化即达到测量温度的目的。

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光纤液位传感器:

 结构特点:光纤测头端有一个圆 锥体反射器。当测头置于空气中 没接触液面时,光线在圆锥体内 发生全内反射而回到光电二极管。 当测头接触液面时,由于液体折 射率与空气不同,全内反射被破 坏,有部分光线透入液体内,使 返回到光电二极管的光强变弱; 返回光强是液体折射率的线性函 数。返回光强发生突变时,表明 测头已接触到液位。

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7.1光电效应可分为哪三种?它们的概念分别是什么? 答:当用光照射物体时,物体受到一连串具有能量的光子的 轰击,于是物体材料中的电子吸收光子能量而发生相应的电 效应(如电阻率变化、发射电子或产生电动势等)。这种现 象称为光电效应。 7.3 答:光导纤维工作的基础是光的全内反射,当射入的光线的 入射角大于纤维包层间的临界角时,就会在光纤的接口上产 生全内反射,并在光纤内部以后的角度反复逐次反射,直至 传递到另一端面。 优点: a具有优良的传光性能,传导损耗小 b频带宽,可进行超高速测量,灵敏度和线性度好 c能在恶劣的环境下工作,能进行远距离信号的传送

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第7章 光电式传感器

7.1 1.2 7.2

光电效应

光电器件及其特征

7.4

光电传感器及其应用

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光电式传感器是将光通量转换为电量的一种传 感器,光电式传感器的基础是光电转换元件的光电 效应。 光电器件是构成光电式传感器最主要的部件。 光电式传感器的工作原理如图所示:首先把被测量 的变化转换成光信号的变化,然后通过光电转换元 件变换成电信号。图中x1表示被测量能直接引起光量 变化的检测方式;x2表示被测量在光传播过程中调制 光量的检测方式。

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补充内容: 光谱

光波: 波长为10—106nm的电磁波 可见光:波长380—780nm 紫外线:波长10—380nm 波长300—380nm称为近紫外线 波长200—300nm称为远紫外线 波长10—200nm称为极远紫外线 红外线:波长780—106nm 波长3μm(即3000nm)以下的称近红外线 波长超过3μm 的红外线称为远红外线

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光谱分布如图所示:

波长/μm

0.01 0.05 极远紫外 0.1 0.5 远 近 可见光 紫 紫 外 外 1 5 近红外 远红外 10

光的波长与频率的关系由光速确定,真空中的光 速c=2.99793×108m/s,通常c≈3×108m/s。光的波长 λ和频率f 的关系为

λf=3×108m / s

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7.1 光电效应

光电效应是指物体吸收了光能后转换为该物体中 某些电子的能量,从而产生的电效应。光电传感器的 工作原理基于光电效应。光电效应分为外光电效应和 内光电效应两大类。 7.1.1 外光电效应 在光线作用下,物体内的电子逸出物体表面向 外发射的现象称为外光电效应。向外发射的电子叫 光电子。基于外光电效应的光电器件有光电管、 光 电倍增管等。多发生于金属和金属氧化物,从光开 始照射至金属释放电子所需时间不超过10-9s。

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一束光是由一束以光速运动的粒子流组成的,这 些粒子称为光子。光子具有能量,每个光子具有的能 量由下式确定: (7-1) E=hf

式中: h-普朗克常数=6.626×10-34(J·s) f-光的频率(s-1)。

光的波长越短,即频率越高,其光子的能量也越 大; 反之,光的波长越长,其光子的能量也就越小。 光照射物体,可以看成一连串具有一定能量的光 子轰击物体,根据爱因斯坦假设,一个电子只能接受 一个光子的能量,所以要使一个电子从物体表面逸出, 必须使光子的能量大于该物体的表面逸出功,超过部 分的能量表现为逸出电子的动能。 检测技术

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根据能量守恒定理

式中:m

——电子质量; v0——电子逸出速度。

1 2 hf  mv0  A0 2

(7-2)

式(7-2)为爱因斯坦光电效应方程式.

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1 2 hf  mv0  A0 2

 光电子能否产生,取决于光子的能量是否大于该物 体的表面电子逸出功 A0 。不同的物质具有不同的逸 出功,即每一个物体都有一个对应的光频阈值,称 为红限频率。  当入射光的频谱成分不变时,产生的光电流与光强成 正比。即光强愈大,入射光子数目越多,逸出的电子 数也就越多。  光电子逸出物体表面具有初始动能 mv02 /2 ,因此外 光电效应器件(如光电管)即使没有加阳极电压, 也会有光电子产生。

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7.1.2 内光电效应 光电导效应 在光线作用下,材料内部的电阻率发生变化的现 象称为内光电效应。基于这种效应的光电器件有光敏 电阻。它多发生于半导体内。 在光线作用下,对于半导体材料吸收了入射光子 能量,若光子能量大于或等于半导体材料的禁带宽度, 就激发出电子-空穴对,使载流子浓度增加,半导体的 电导率增加,阻值减低。

导带 自由电子所占能带 不存在电子所占能带 价电子所占能带

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Eg

禁带 价带

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为了实现能级的跃迁,入射光的能量必须大于光 电导材料的禁带宽度Eg,即

hf 

hc

1.24

 Eg

材料的光导性能决定于禁带宽度,对于一种光电 导材料,总存在一个照射光波长限λ0,只有波长小 于λ0的光照射在光电导体上,才能产生电子能级间 的跃进,从而使光电导体的电导率增加。

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7.1.3 光生伏特效应

在光线的作用下能够使物体产生一定方向电动势 的现象称为光生伏特效应。基于该效应的光电器件有 光电池、光敏二极管和光敏三极管。 以PN结为例,光线照射PN结时,设光子能量大于 禁带宽度Eg,使价带中的电子跃迁到导带,而产生电 子空穴对,在阻挡层内电场的作用下,被光激发的电 子移向N区外侧,被光激发的空穴移向P区外侧,从而 使P区带正电,N区带负电,形成光电动势。

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- - - - - -

+ + + + + + + + +

+ + +

- - - - - -

- - - - - -

+ + +

+ + +

P

N

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7.2 光电器件及其特征

7.2.1 光电管与光电倍增管 一、光电管及其基本特性 1、结构

图 7-1 光电管结构

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2、光电管的工作原理 光电管的阴极受到适当的光线照射 后便发射电子,这些

电子被具有一定电 位的阳极吸引,在光电管内形成空间电 子流。如果在外电路中串入一适当阻值 的电阻,则在此电阻上将有正比于光电 管中空间电流的电压降,其值与照射在 光电管阴极上的光亮度成函数关系。

A K

RL E

图 7-2 测量电路

如泡内充入惰性气体,当电子在被吸向阳极的过 程中,运动的电子会对惰性气体进行轰击,并使其产 生电离,于是会有更多的自由电子产生,从而提高了 光电转换灵敏度。

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3、主要性能 (1)光电特性(光照特性) 指当光电管的阳极和阴极之间所加电压一定时,光 通量与光电流之间的关系为光电管的光电特性。 曲线 1 表示银氧铯阴极光 IA/ μA 电管的光照特性,光电 100 流 I 与光通量成线性关系。 曲线 2 为锑铯阴极的光电 75 2 管光照特性,它成非线 50 1 性关系。光照特性曲线 25 的斜率(光电流与入射 0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 Φ/1m 光光通量之间比)称为 光电管的灵敏度。 光电管的光电特性

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(2)伏安特性

IA/ μA

12 10 120μlm 100μlm 80μlm 60μlm 40μlm 20μlm 50 100 150 200

8

6

4

2 0

在一定的光通量下 ,对光电器件的阳极 所加电压与阴极所产 生的电流之间的关系 称为光电管的伏安特 性。光电管的伏安特 性如图所示 。它是应 用光电传感器参数的 主要依据。

极间的电压/V

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(3)光谱特性 由于光阴极对光谱有选择性,因此光电管对光谱也有 选择性。保持光通量和阳极电压不变,阳极电流与光波 长之间的关系叫光电管的光谱特性。

一般对于光电阴极材料不同的光电管,它们有不同的 红限频率f0,因此它们可用于不同的光谱范围。 即使照射在阴极上的入射光的频率高于红限频率f0 , 并且强度相同,随着入射光频率的不同,阴极发射的光 电子的数量还会不同,即同一光电管对于不同频率的光 的灵敏度不同,这就是光电管的光谱特性。

对不同波长区域的光,应选用不同材料的光电阴极。

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二、光电倍增管及其基本特性

当入射光很微弱时,光电管产生的光电流很小,只有零点 几μA,不容易探测,需要用光电倍增管对电流进行放大。 1.光电倍增管结构和工作原理 由光阴极、次阴极(倍增电极) 及阳极三部分组成。光阴 极是由半导体光电材料锑铯做成;次阴极是在镍或铜-铍的 光电阴极 阳极 衬底上涂上锑铯材料而形成 的,次阴极多的可达30级; 阳极是最后用来收集电子的, 收集到的

电子数是阴极发射 电 子 数 的 105~106 倍 。 因 此 第一倍增极 第三倍增极 在很微弱的光照时,它就能 产生很大的光电流。 入射光

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2. 主要参数 (1)倍增系数M 倍增系数 M 等于 n 个倍增电极的二次电子发射系数 δ的乘积。如果n个倍增电极的δ都相同,则M=  n 因 i 此,阳极电流I为 i —光电阴极的光电流 I = i · in M与所加电压有关,M在105~108之间,稳定性为1% 左右,加速电压稳定性要在0.1%以内。一般阳极和阴 极之间的电压为 1000~2500V ,两个相邻的倍增电极的 电位差为50~100V。所加电压越稳越好,这样可以减小 测量误差。

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(2)光电阴极灵敏度和光电倍增管的灵敏度

一个光子在阴极上能够打出的平均电子数叫做光 电倍增管的阴极灵敏度。而一个光子在阳极上产生的 平均电子数叫做光电倍增管的总灵敏度。

(3)暗电流和本底电流 没有光信号输入,加上电压后阳极仍有电流,这 种电流称为暗电流,这是热发射所致或场致发射造成 的,这种暗电流通常可以用补偿电路消除。 如果光电倍增管与闪烁体放在一处,在完全蔽光 情况下,出现的电流称为本底电流,其值大于暗电流。 增加的部分是宇宙射线对闪烁体的照射而使其激发, 被激发的闪烁体照射在光电倍增管上而造成的。

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7.2.2 光敏电阻

1、光敏电阻的工作原理与结构

又称光导管,它几乎都是用半导体材料制成的光 电器件。光敏电阻没有极性,纯粹是一个电阻器件。 当光照射到光电导体上时,若光电导体为本征半 导体材料,而且光辐射能量又足够强,光导材料价带 上的电子将激发到导带上去,从而使导带的电子和价 带的空穴增加,致使光导体的电导率变大。

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光敏电阻的结构如图所示。管芯是一块安装在绝 缘衬底上带有两个欧姆接触电极的光电导体。

电极

引线

引线 光导电材料 光电导体 A 绝缘衬低

金属封装的硫化镉光敏电阻结构图

光电导体吸收光子而产 生的光电效应,只限于 光照的表面薄层,虽然 产生的载流子也有少数 扩散到内部去,但扩散 深度有限,因此光电导 体一般都做成薄层。为 了获得高的灵敏度,光 敏电阻的电极一般采用 梳状图案。

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光敏电阻的灵敏度易受湿度的影响,因此要将导 光电导体严密封装在玻璃壳体中。如果把光敏电阻连 接到外电路中,在外加电压的作用下,

用光照射就能 改变电路中电流的大小,其连线电路如图所示。 光敏电阻具有很高的灵敏度,很好的光谱特性, 光谱响应可从紫外区到红外区范围内。而且体积小、 重量轻、性能稳定、价格便宜,因此应用比较广泛。

I RL RG E

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2、

光敏电阻的主要参数有: (1) 暗电阻与暗电流:光敏电阻在不受光照射时的 阻值称为暗电阻, 此时流过的电流称为暗电流。 (2) 亮电阻与亮电流:光敏电阻在受光照射时的电 阻称为亮电阻,此时流过的电流称为亮电流。 (3) 光电流:亮电流与暗电流之差称为光电流。

光敏电阻的暗电阻越大,而亮电阻越小则性能越好。 也就是说,暗电流越小,光电流越大,这样的光敏电阻 的灵敏度越高。 实用的光敏电阻的暗电阻往往超过1MΩ,甚至高达 100MΩ,而亮电阻则在几kΩ以下,暗电阻与亮电阻之 比在102~106之间,可见光敏电阻的灵敏度很高。

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3、光敏电阻的基本特性 (1)光照特性:在一定外加电压下,光敏电阻的光 电流和光通量之间的关系。不同材料的光照特性是不 同的,绝大多数光敏电阻光照特性是非线性的。因此 它不宜作为测量元件,这是光敏电阻的不足之处。一 般在自动控制系统中常作开关式光电信号传感元件。

I/mA 5 4 3 2 1 0

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1000

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2000

L/lx

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(2)伏安特性:在一定照度下,流过光敏电阻的电 流与光敏电阻两端的电压的关系称为光敏电阻的伏安 特性。由曲线可知,在给定偏压下,光照度较大,光电 流也越大。

40 30 功率 10001 x 500 m W 1001 x

I / mA

20 10 0

101 x 100 U/ V 200

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(3)光谱特性:光谱特性与光敏电阻的材料有关。 从图中可知,硫化铅3光敏电阻在较宽的光谱范围内均 有较高的灵敏度,峰值在红外区域;硫化镉、硒化镉 的峰值在可见光区域。因此,在选用光敏电阻时,应 把光敏电阻的材料和光源的种类结合起来考虑,才能 获得满意的效果。

相 80 对 灵 60 敏 40 度 20 100

1

2

3

1——硫化镉 2——硒化镉 3——硫化铅

0.4

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0.8

1.2

1.6

Page: 29

2.0

2.4

λ/μm

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(4)频率特性:实验证明,当光敏电阻受到脉冲光照

射时,光电流要经过一段时间才能达到稳定值,而在停

止光照后,光电流也不立刻为零,这就是光敏电阻的时

延特性。

100

I/%

硫化铅

80 60

40

20

硫化镉

0

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10

102 103 104 f / Hz

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(5) 温度特性:其性能 ( 灵敏度、暗电阻 ) 受温度 的影响较大。随着温

度的升高,其暗电阻和灵敏度下

降,光谱特性曲线的峰值向波长短的方向移动。硫化

镉的光电流I和温度T的关系如图所示。

I / μA

200 150 100 100 80 60

I/mA

+20 º C

-20 º C

40

20

-50 -30 -10 10 30 50 T/

º C

0

1.0

2.0

3.0

4.0

λ/μm

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7.2.3 光敏二极管和光敏晶体管 1、光敏二极管

光敏二极管的结构与一般二极管相似。它装在透

明玻璃外壳中,其 PN 结装在管的顶部,可以直接受到

光照射。 光敏二极管在电路中一般是处于反向工作状

态。

光 光

P

P N

N

RL

光敏二极管符号

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光敏二极管接线

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 当光不照射时,光敏二极管处于载止状态,这时只 有少数载流子在反向偏压的作用下,渡越阻挡层形成 微小的反向电流即暗电流;  受光照射时,PN结附近受光子轰击,吸收其能量而 产生电子-空穴对,从而使P区和N区的少数载流子浓度 大大增加,因此在外加反向偏压和内电场的作用下, P 区的少数载流子渡越阻挡层进入 N 区, N 区的少数载 流子渡越阻挡层进入 P 区,从而使通过 PN 结的反向电 流大为增加,这就形成了光电流。  光敏二极管的光电流 I 与照度之间呈线性关系。光 敏二极管的光照特性是线性的,所以适合检测等方面 的应用。 检测技术

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2、光敏晶体管 光敏晶体管与一般晶体管很相似,具有两个 PN 结, 如图(a)所示,只是它的发射极一边做得很大,以扩大 光的照射面积。光敏晶体管接线如图 (b) 所示,大多 数光敏晶体管的基极无引出线,当集电极加上相对于 发射极为正的电压而不接基极时,集电结就是反向偏 压。 光

c N P b (a)

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N

e

b RL

c e E

(b)

检测技术 图7-9 NPN型光敏晶体管结构简图和基本电路

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光 c N P b (a) N e b RL (b) c e E

当光照射在集电结上时,就会在结附近产生电子 -空穴对,从而形成光电流,相当于三极管的基极电流。 由于基极电流的增加,因此集电极电流是光生电流的 β 倍,所以光敏晶体管有放大作用。

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7.2.4 光电池

光电池是利用光生伏特效应把光直接转变成电能 的器件。光电池在有光线作用时实质就是电源,电路 中有了这种器件就不需要外加电源。 光电池的工作原理是基于“光生伏特效应”。

硼扩散层 SiO2 膜 P型 电 极 I I A

N型 硅 片

PN 结 电极 (a )

A

(b )

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7.4 光电传感器及其应用

按照光电传感器中光电元件输出电信号的形式 可以将光电传感器分为模拟式和脉冲式两大

类。 7.4.1 模拟式光电传感器  基于光电器件的光电流随光通量而发生变化,是光 通量的函数。  对于光通量的任意一个选定值,对应的光电流就有 一个确定的值,而光通量又随被测非电量的变化而 变化,这样光电流就成为被测非电量的函数。

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吸收式:被测物放在光学通路中, 光源的部分光通量由被测物吸收, 剩余的投射到光电元件上,被吸收 的光通量与被测物的透明度有关。 所以常用来作混浊度计等。 反射式:恒定光源发射的光通量 投射到被测物上,由被测物表面反 射后再投射到光电元件上。反射光 的强弱取决于被测物表面的性质和 状态,因此可用于测量工件表面粗 糙度。

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遮光式:从恒定光源发射出的光 通量在到达光电元件的途中受到被 测物的遮挡,使投射到光电元件上 的光通量减弱,光电元件的输出反 映了被测物的尺寸或位置。这种传 感器可用于工件尺寸测量、振动测 量等场合。 辐射式:光源本身是被测物,它 发出的光投射到光电元件上,光电 元件的输出反映了光源的某些物理 参数。这种型式的光电传感器可用 于照度计。

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7.4.2 脉冲式光电传感器

 光电器件的输出仅有两个稳定状态,也就是“通 ”与“断”的开关状态。  光电器件受光照时,有电信号输出,光电器件不 受光照时,无电信号输出。属于这一类的大多是 作继电器和脉冲发生器应用的光电传感器,如测 量线位移、线速度、角位移、角速度(转速)的光

电脉冲传感器等。

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应用举例: 一、烟尘浊度监测仪 防止工业烟尘污染是环保的重要任务之一。为了 消除工业烟尘污染,首先要知道烟尘排放量,因此必 须对烟尘源进行监测、自动显示和超标报警。烟道里 的烟尘浊度是用通过光在烟道里传输过程中的变化大 小来检测的。如果烟道浊度增加,光源发出的光被烟 尘颗粒的吸收和折射增加,到达光检测器的光减少, 因而光检测器输出信号的强弱便可反映烟道浊度的变 化。

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平行 光源 烟道

光电 探测

放大

显示

报警器

吸收式烟尘浊度检测系统原理图

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2、光电转速传感器

下图是光电数字式转速表的工作原理图。图是在待 测转速轴上固定一带孔的转速调置盘,在调置盘一边由 白炽灯产生恒定光,透过盘上小孔到达光敏二极管组成 的光电转换器上,转换成相应

的电脉冲信号,经过放大 整形电路输出整齐的脉冲信号,转速由该脉冲频率决定。

2

3

1

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7.5 光 纤 传 感 器

光纤传感器是 20 世纪 70 年代中期发展起来的一种 新技术,它是伴随着光纤及光通信技术的发展而逐步 形成的。 光纤传感器和传统的各类传感器相比有一定的优点, 如不受电磁干扰,体积小,重量轻,可绕曲,灵敏度 高,耐腐蚀,高绝缘强度,防爆性好,集传感与传输 于一体等。 光纤传感器能用于温度、压力、应变、位移、速 度、加速度、磁、电、 声和PH值等70多个物理量的测 量,具有极为广泛的应用潜力和发展前景。

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7.5.1

一、光纤结构及其传光原理

光导纤维简称光纤,它是一种特殊结构的光学纤 维,用光透射率高的电介质 ( 如石英、玻璃、塑料等 ) 构成的光通路。结构如图7-16所示。

保护层 包层 n2 纤芯 n1

图7-16 光纤的基本结构

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光纤传光原理: 在光纤中,光的传输限制在光纤中,并随着光纤 能传送很远的距离,光纤的传输是基于光的全内反射。 设有一段圆柱形光纤,它的两个端面均为光滑的 平面。当光线射入一个端面并与圆柱的轴线成 θi角时, 在端面发生折射进入光纤后, 又以φi 角入射至纤芯与包 层的界面,光线有一部分透射到包层,一部分反射回纤 芯。 包层

n0 2 c





i

纤芯

n2

i

n1

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依据光折射和反射的斯涅尔(Snell)定律,有

n1 sin i  n2 sin  '

当φi角逐渐增大,直至φi=θc时,透射入包层的折射光

也逐渐折向界面,直至沿界面传播(φ’=90°)。对应于

φ’=90°时的入射角φi称为临界角θc;由上式则有

sin  c

可见,当φi>θc时,光线将不再折射入包层,而在 介质(纤芯)内产生连续向前的全反射,直至由终端面 射出。这就是光纤传光的工作基础。

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n2  n1

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包层 n0 2 c





i

纤芯

n2

i

n1

根据斯涅耳(Snell)光的折射定律,由图可得

n0 sin  i  n1 sin  ' n1 sin i  n2 sin  '

式中,n0为光纤外界介质的折射率。

(7-4)

(7-5)

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若要在纤芯和包层的界面上发生全反射, 则界面上 的光线临界折射角φc=90°,即φ’≥ φc=90°。 而

  n1 sin  '  n1 sin   i   n1 cos i  n1 1  sin i2 2   n2   n1 1    n sin  '    1 

当φ’=φc=90 °时,有

2

(7-6)

n1 sin  '  n  n

2 1

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2 2

(7-7)

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所以,为满足光在光纤内的全内反射, 光入射到

光纤端面的入射角θi应满足

1 2 2   i   c  arcsin   n n1  n2    0 

(7-8)

一般光纤所处环境为空气,则n0=1,这样式(7-8)可 表示为

2 i  c  arcsin n12  n2

(7-9)

实际工作时需要光纤弯曲,但只要满足全反射条 件,光线仍然继续前进。可见这里的光线“转弯”实 际上是由光的全反射所形成的。

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数值孔径(NA)定义为:

1 2 NA  sin  c  n12  n2 n0

数值孔径是表征光纤集光本领的一个重要参数, 即反映光纤接收光量的多少。其意义是:无论光源发 射功率有多大,只有入射角处于 2θc 的光椎角内,光 纤才能导光。如入射角过大,光线便从包层逸出而产 生漏光。光纤的 NA 越大,表明它的集光能力越强。 所以要适当选择数值孔径的数值,如石英光纤数值孔

径一般为0.2~0.4。

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二、光纤的种类

按折射率分有阶跃型和渐变型二种。阶跃型光 纤纤芯的折射率不随半径而变;但在纤芯与包层界面 处折射率有突变。渐变型光纤纤芯的折射率沿径向由 中心向外呈抛物线由大渐小,至界面处与包层折射率 一致。因此,这类光纤有聚焦作用。

光纤的另一种分类方法是按光纤的传播模式来 分,可分为多模光纤和单模光纤二类。 检测技术

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根据电介质中电磁场的麦克斯韦方程, 考虑到光纤圆 柱波导和纤芯-包层界面处的几何边界条件时只存在波动方 程的特定(离散)的解。每一个允许传播的波称为模式。

①多模光纤:当光纤的纤芯直径远远大于光波波长时, 光纤中会存在着几十种乃至几百种传播模式。不同的传播 模式会具有不同的传播速度与相位,因此经过长距离的传 输之后会产生时延,导致合成信号的畸变。 ② 单模光纤:当光纤的纤芯直径可以与光波长相比拟 时,如芯径在5~10 微米范围,光纤只允许一种模式(基 模)在其中传播,其余的高次模全部截止,这样的光纤叫 做单模光纤。

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光纤传输损耗 : • 光信号在光纤中的传播不可避免地存在着损耗。 • 光纤传输损耗主要有: (1)材料吸收损耗(与组成光纤的材料的 中子受激和分子共振有关,当光的频率与分子的 振动频率接近或相等时,会发生共振,并大量吸 收光能量,引起能量损耗); (2)散射损耗(因光纤拉制时粗细不均匀 引起); (3)辐射性损耗 (因光纤在使用中可能

发 生弯曲引起)。

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7.2.3 1、光纤传感器的工作原理及组成

光纤传感器原理实际上是研究光在调制区内,外界 信号(温度、压力、应变、位移、 振动、电场等)与 光的相互作用,即研究光被外界参数的调制原理。 外 界信号可能引起光的强度、波长、频率、相位、偏振 态等光学性质的变化,从而形成不同的调制。 光纤传感器一般分为两大类:一类是利用光纤本 身的某种敏感特性或功能制成的传感器,称为功能型 传感器;另一类是光纤仅仅起传输光的作用,它在光 纤端面或中间加装其它敏感元件感受被测量的变化, 这类传感器称为非功能型传感器(传光型)。 检测技术

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在用途上,非功能型传感器要多于功能型传感器, 而且非功能型传感器的制作和应用也比较容易,所以 目前非功能型传感器品种较多。功能型传感器的构思 和原理往往比较巧妙,可解决一些特别辣手的问题。 但无论哪一种传感器,最终都利用光探测器将光纤的 输出变为电信号。 光 纤 传感 器 由 光 源 、敏 感 元件 ( 光纤 或 非光 纤 的)、光探测器、信号处理系统以及光纤等组成,如 图 7-18 所示。由光源发出的光通过光纤引到敏感元件, 被测参数作用于敏感元件,使光的某一性质受到被测 量的调制,调制后的光信号经接收光纤耦合到光探测 器,将光信号转换为电信号, 最后经信号处理测得所 需要的被测量。 检测技术

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被测对象 光源

光纤 光纤敏感元件 光探测器 (a ) 被测对象 光源 至信号处理系统

光纤 光敏感元件 光探测器 (b ) 至信号处理系统

图7-18 光纤传感器组成示意图

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2. 光纤温度传感器: 这里介绍一种光强调制型的半导体光吸收型光纤传 感器,图7-19为这种传感器的结构原理图。

半导体光吸收器 输入光纤 输出光纤

光源

探测器

不锈钢套

图7-19 半导体光吸收型光纤温度传感器结构原理图

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光源 输入光纤 半导体光吸收器 输出光纤 探测器

不锈钢套

传感器是由半导体光吸收器、光纤、光源和包括 光探测器在内的信号处理系统等组成的。 光纤是用来传输信号,半导体光吸收器是光敏感 元件,在一定的波长范围内,它对光的吸收随温度 T 变化而变化。

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图7-20 半导体的光透过率特性

图 7-20 为半导体的光透过率特性。半导体材料的 光透过率特性曲线随温度的增加向长波方向移动,如果 适当地选定

一种在该材料工作波长范围内的光源,那么 就可以使透射过半导体材料的光强随温度而变化,探测 器检测输出光强的变化即达到测量温度的目的。

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光纤液位传感器:

 结构特点:光纤测头端有一个圆 锥体反射器。当测头置于空气中 没接触液面时,光线在圆锥体内 发生全内反射而回到光电二极管。 当测头接触液面时,由于液体折 射率与空气不同,全内反射被破 坏,有部分光线透入液体内,使 返回到光电二极管的光强变弱; 返回光强是液体折射率的线性函 数。返回光强发生突变时,表明 测头已接触到液位。

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7.1光电效应可分为哪三种?它们的概念分别是什么? 答:当用光照射物体时,物体受到一连串具有能量的光子的 轰击,于是物体材料中的电子吸收光子能量而发生相应的电 效应(如电阻率变化、发射电子或产生电动势等)。这种现 象称为光电效应。 7.3 答:光导纤维工作的基础是光的全内反射,当射入的光线的 入射角大于纤维包层间的临界角时,就会在光纤的接口上产 生全内反射,并在光纤内部以后的角度反复逐次反射,直至 传递到另一端面。 优点: a具有优良的传光性能,传导损耗小 b频带宽,可进行超高速测量,灵敏度和线性度好 c能在恶劣的环境下工作,能进行远距离信号的传送

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