***学院本科毕业论文（设计）任务书论文（设计）题目：等色干涉测薄膜厚度
学学生姓名***专业班级号
职指导教师***论文（设计）起止时间称
课题类型指导老师承担的科研课题**
主
要
任
务课题意义（课题意义、技术路线、任务与进度要求、主要参考）薄膜技术是当前材料科技的研究热点，纳米级薄膜迅猛发展，精确、快速地测量薄膜的厚度至关重要。因此选择一种恰当的方法测量薄膜厚度不可小视。应用等色干涉原理测量薄膜厚度具有测量结果精度高、测试系统较为简单、对膜面积要求较小、对薄膜无损坏等优点。等色干涉属于薄膜干涉，是光波叠加引起强度在空间的重新分布。用白光照射薄膜，获得相应的等色干涉条纹，根据干涉条纹和已知参数，从而计算出薄膜的光学厚度。该技术具有很强的实用性，可以应用到许多镀膜工艺的鉴定和实时监测上。技术路线以等色干涉原理为基本思想，以聚光透镜、待测膜、光源、FGY-01型分光仪、WGD-8A 型组合式多功能光栅光谱仪、计算机等为主要设备，设计一种简单、实用、误差较小的光路，以具有连续光谱的白光作为光源，照射薄膜，从薄膜两表面反射出来的两束光产生干涉，一些波长的光干涉相长，一些波长的光干涉相消，光谱中将呈现一些暗带。如果折射率、薄膜厚度、入射角为固定值，利用膜干涉程差公式，通过对干涉条纹数与波数的测量，计算出膜的厚度。与其它测量薄膜厚度方法做对比，比较其优缺点。
任务与进度要求
1填写论文进度书（11月15之前）
2写好开题报告（11月15-11月30）
3搜集和查阅资料，做实验（2月份-3月份）
4撰写论文，结题（4月份）
主要参考文献
1易明.光学北京：高等教育出版社.1999.
2李建民，王增波，南景宇等.基于等色干涉的膜分析.物理实验.2006.73魏杏芳.利用等色干涉原理测量薄膜厚度.甘肃高师学报.2007.
教研
室意
见
学院
意见负责人签字：年月日
负责人签字：年月日
*学院
毕业论文（设计）开题报告
题
姓院
专
年学目：名：系：业：级：号：***理学院物理系物理学指导教师：开题时间：河北北方学院教务处制论文题目
课题来源等色干涉测薄膜厚度指导教师承担的科研课题
研究方向
报告内容：应用等色干涉原理获取薄膜参量
一、立题依据（研究的目的与意义）
一般测量薄膜厚度的方法为迈克尔逊干涉仪法、椭圆偏振法、X射线干涉法等。这些方法要么测量系统复杂，要么对干涉条纹的清晰度要求高，且对膜面积要求较大。利用等色干涉原理，用连续光谱的白光作光源，设计一个较为简单的光路图，即可对薄膜各个部位进行厚度测量，且克服了以上测量薄膜的多种弊端。目前薄膜材料应用前景广阔，而且利用等色干涉原理测量薄膜厚度的研究尚处于起步阶段，未来具有相当大的研究空间，这对物理科研，医学仪器的研制等方面有重大的意义。
二、研究内容(内容、结构框架或研究提纲以及要突破的难点) ：
1、利用等色干涉原理，设计出合理的光路图，应用膜程差公式，测出膜的厚度。
2、设计光路图时，应选取适当的仪器，尽量减少实验误差，增大可测量膜厚度的范围，使等色干涉的优点得到发挥。
3、白光要平行；入射光垂直照射薄膜；条纹要清晰，光谱范围要宽。
4、尽量减少外界环境对测量结果的影响。
三、研究方法与技术路线
1、以光源、分光仪、光谱仪、聚光透镜、数码照相机、计算机等组建系统。
用数码相机拍摄干涉图样；第二期用光谱仪，并用计算机分析。
3、以等色干涉原理为研究方法，利用膜干涉程差公式，通过对条纹数和波数差的测量，计算膜厚。
4、将实验装置的各个部分放到恰当位置，尤其注意物象关系。保证数提取准确快速。
四、研究过度安排
1填写论文进度书，跟老师讨论问题，解决问题。（11月5之前）
2研究课题，深入了解课题意义，写好开题报告（11月5-12月7）
3搜集和查阅资料，设计实验，做实验（2月份-3月份）
4写好论文，结题（4月份）
五、预期研究结果
1、透彻地理解等色干涉原理。
2、通过两期的实验获得待测膜厚度。
3、掌握实验装置安排的合理性。
4、充分体现出等色干涉测量薄膜厚度的优越性。
六、参考文献：
1
2
3
4易明.光学北京：高等教育出版社.1999李建民，王增波，南景宇等.基于等色干涉的膜分析.物理实验.2006.7魏杏芳.利用等色干涉原理测量薄膜厚度.甘肃高师学报.2007孙艳，杨玉孝，谭玉山.基于白光干涉的纳米级生物膜层厚度测试的研究.仪器仪表学报.2004.2
5李玉传，杨根娣.应用等色干涉测定薄膜厚度.物理实验.1990.8
指导教师意见：指导教师（签名）
姓名
（不得少于三人）专家组成员职称年月日所在教研室
院
系
专
家
组
论
证
意
见专家组组长签名：专家组委员签名：
年月日
备注
***学院本科毕业论文（设计）任务书论文（设计）题目：等色干涉测薄膜厚度
学学生姓名***专业班级号
职指导教师***论文（设计）起止时间称
课题类型指导老师承担的科研课题**
主
要
任
务课题意义（课题意义、技术路线、任务与进度要求、主要参考）薄膜技术是当前材料科技的研究热点，纳米级薄膜迅猛发展，精确、快速地测量薄膜的厚度至关重要。因此选择一种恰当的方法测量薄膜厚度不可小视。应用等色干涉原理测量薄膜厚度具有测量结果精度高、测试系统较为简单、对膜面积要求较小、对薄膜无损坏等优点。等色干涉属于薄膜干涉，是光波叠加引起强度在空间的重新分布。用白光照射薄膜，获得相应的等色干涉条纹，根据干涉条纹和已知参数，从而计算出薄膜的光学厚度。该技术具有很强的实用性，可以应用到许多镀膜工艺的鉴定和实时监测上。技术路线以等色干涉原理为基本思想，以聚光透镜、待测膜、光源、FGY-01型分光仪、WGD-8A 型组合式多功能光栅光谱仪、计算机等为主要设备，设计一种简单、实用、误差较小的光路，以具有连续光谱的白光作为光源，照射薄膜，从薄膜两表面反射出来的两束光产生干涉，一些波长的光干涉相长，一些波长的光干涉相消，光谱中将呈现一些暗带。如果折射率、薄膜厚度、入射角为固定值，利用膜干涉程差公式，通过对干涉条纹数与波数的测量，计算出膜的厚度。与其它测量薄膜厚度方法做对比，比较其优缺点。
任务与进度要求
1填写论文进度书（11月15之前）
2写好开题报告（11月15-11月30）
3搜集和查阅资料，做实验（2月份-3月份）
4撰写论文，结题（4月份）
主要参考文献
1易明.光学北京：高等教育出版社.1999.
2李建民，王增波，南景宇等.基于等色干涉的膜分析.物理实验.2006.73魏杏芳.利用等色干涉原理测量薄膜厚度.甘肃高师学报.2007.
教研
室意
见
学院
意见负责人签字：年月日
负责人签字：年月日
*学院
毕业论文（设计）开题报告
题
姓院
专
年学目：名：系：业：级：号：***理学院物理系物理学指导教师：开题时间：河北北方学院教务处制论文题目
课题来源等色干涉测薄膜厚度指导教师承担的科研课题
研究方向
报告内容：应用等色干涉原理获取薄膜参量
一、立题依据（研究的目的与意义）
一般测量薄膜厚度的方法为迈克尔逊干涉仪法、椭圆偏振法、X射线干涉法等。这些方法要么测量系统复杂，要么对干涉条纹的清晰度要求高，且对膜面积要求较大。利用等色干涉原理，用连续光谱的白光作光源，设计一个较为简单的光路图，即可对薄膜各个部位进行厚度测量，且克服了以上测量薄膜的多种弊端。目前薄膜材料应用前景广阔，而且利用等色干涉原理测量薄膜厚度的研究尚处于起步阶段，未来具有相当大的研究空间，这对物理科研，医学仪器的研制等方面有重大的意义。
二、研究内容(内容、结构框架或研究提纲以及要突破的难点) ：
1、利用等色干涉原理，设计出合理的光路图，应用膜程差公式，测出膜的厚度。
2、设计光路图时，应选取适当的仪器，尽量减少实验误差，增大可测量膜厚度的范围，使等色干涉的优点得到发挥。
3、白光要平行；入射光垂直照射薄膜；条纹要清晰，光谱范围要宽。
4、尽量减少外界环境对测量结果的影响。
三、研究方法与技术路线
1、以光源、分光仪、光谱仪、聚光透镜、数码照相机、计算机等组建系统。
用数码相机拍摄干涉图样；第二期用光谱仪，并用计算机分析。
3、以等色干涉原理为研究方法，利用膜干涉程差公式，通过对条纹数和波数差的测量，计算膜厚。
4、将实验装置的各个部分放到恰当位置，尤其注意物象关系。保证数提取准确快速。
四、研究过度安排
1填写论文进度书，跟老师讨论问题，解决问题。（11月5之前）
2研究课题，深入了解课题意义，写好开题报告（11月5-12月7）
3搜集和查阅资料，设计实验，做实验（2月份-3月份）
4写好论文，结题（4月份）
五、预期研究结果
1、透彻地理解等色干涉原理。
2、通过两期的实验获得待测膜厚度。
3、掌握实验装置安排的合理性。
4、充分体现出等色干涉测量薄膜厚度的优越性。
六、参考文献：
1
2
3
4易明.光学北京：高等教育出版社.1999李建民，王增波，南景宇等.基于等色干涉的膜分析.物理实验.2006.7魏杏芳.利用等色干涉原理测量薄膜厚度.甘肃高师学报.2007孙艳，杨玉孝，谭玉山.基于白光干涉的纳米级生物膜层厚度测试的研究.仪器仪表学报.2004.2
5李玉传，杨根娣.应用等色干涉测定薄膜厚度.物理实验.1990.8
指导教师意见：指导教师（签名）
姓名
（不得少于三人）专家组成员职称年月日所在教研室
院
系
专
家
组
论
证
意
见专家组组长签名：专家组委员签名：
年月日
备注