栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦肖特基势垒二极管抗辐射特性的研究
渊长安大学电子与控制工程学院袁长安大学道路交通检测与装备工程技术研究中心袁西安摇苑员园园远源冤
渊圆园员园年苑月圆员日收到曰圆园员园年愿月员圆日收到修改稿冤
鄢
张摇林覮摇肖摇剑摇邱彦章摇程鸿亮
对于酌射线和员酝藻灾电子辐照袁原猿园灾辐照偏压对器件的辐照效应没有明显的影响援经过员酝则葬凿渊杂蚤冤的酌射线或后栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦的势垒高度比辐照前轻微下降袁这是由于高能电子引入的电离损伤造成的袁且可以在常温下退火恢复援分别经过员酝则葬凿渊杂蚤冤的酌射线和猿郾源猿伊员园员源藻辕糟皂圆的电子辐照后袁器件反向电流的变化都比较轻微袁显示了良好的抗辐射特性援实验同时还发现电子和中子辐照会造成器件串联电阻增加援
者员伊造园员猿灶辕糟皂圆的中子辐照后袁栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦肖特基接触都没有明显退化曰经过猿郾源猿伊员园员源藻辕糟皂圆的员酝藻灾电子辐照
摇摇本文采用酌射线尧高能电子和中子对栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦肖特基势垒二极管渊杂月阅冤的抗辐射特性进行了研究援研究发现
关键词院碳化硅袁肖特基袁辐照袁偏压孕粤悦杂院远员援愿圆援云噪袁远员援愿圆援原凿袁苑猿援源园援杂曾
态对栽蚤辕杂蚤悦杂月阅的酌射线辐照效应的影响援
员郾引言
源匀鄄杂蚤悦肖特基势垒二极管渊杂月阅冤具有整流特性好尧击穿电压高尧高温特性好等优势袁是目前最成熟并已商用的杂蚤悦功率器件袁同时杂蚤悦肖特基接触也是其他多种杂蚤悦功率器件渊如酝耘杂云耘栽冤的重要部分咱员暂援由于杂蚤悦杂月阅主要应用在军事尧空间等强辐射领域袁对其抗辐照特性进行研究具有重要的意义援
圆郾器件制备与辐照实验
摇摇采用同质外延技术生长了杂蚤悦杂月阅工艺所需的外延材料袁设备为瑞典耘责蚤早则藻泽泽公司的灾孕缘园愿水平式低压热壁悦灾阅系统援衬底为从德国杂蚤悦则赠泽贼葬造援粤郧源匀鄄杂蚤悦单晶袁掺杂浓度约为缘伊员园员愿糟皂原猿援外延样品员园缘孕葬冤袁外延层的厚度约员园滋皂援采用非故意掺杂工艺获得低掺杂的灶型外延层援
经过标准的砸悦粤清洗工艺后袁在材料背面电子员园园园益高温退火圆皂蚤灶形成欧姆接触袁接着淀积悦则辕粤怎渊缘园辕圆园园灶皂冤援然后在材料的外延面采用电子束蒸发晕蚤辕悦则辕粤怎渊圆园园辕缘园辕圆园园灶皂冤袁剥离形成圆形肖特基图形援器件的剖面结构如图员所示援器件制备完成后袁用激光切片机将样品切开袁并采用陶瓷管壳进行封装袁用硅铝丝键合援高频悦灾测试获得外延层的净载流子浓度约为远郾源伊员园员源糟皂原猿援
辐照试验在西北核技术研究所进行援酌射线辐束蒸发晕蚤辕孕贼渊源缘园辕缘园灶皂冤袁然后在晕圆中经过生长温度为员缘苑园益袁压强为员园园皂遭葬则渊员遭葬越公司购买的杂蚤面袁偏离渊园园园员冤面愿毅的圆英寸灶型
一些文献报道咱圆要源暂袁但是目前的研究还存在很多空白援以往的研究中一般只采用一种辐照粒子进行实验研究袁而实际的辐照环境中往往存在多种辐照粒子援比较不同的辐照粒子对器件特性的影响袁具有重要的研究价值援先前的研究在辐照时大都将杂蚤悦杂月阅零偏置袁而在应用中杂蚤悦肖特基接触经常工作
接触金属之一袁栽蚤辕杂蚤悦肖特基接触的辐照效应已有
栽蚤是目前工艺最成熟尧研究最多的杂蚤悦肖特基
在反偏压下援目前已经有文献报道不同辐照偏压下的杂蚤悦器件的电离辐照损伤并不完全相同咱缘要苑暂袁但不同偏置状态下的栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂月阅的辐照效应是否有区别袁目前还鲜见报道援
源匀鄄杂蚤悦杂月阅的辐照效应援在酌射线和电子辐照时对
本文采用酌射线尧高能电子和中子研究了栽蚤辕
器件分别加园灾与原猿园灾偏压袁以研究不同偏置状
照实验的辐照源为远园悦燥袁剂量率为怨远郾猿则葬凿渊杂蚤冤辕泽渊员酝则葬凿渊杂蚤悦冤越员郾园猿酝则葬凿渊杂蚤冤冤咱圆暂渊员则葬凿越员园原圆郧赠冤袁
鄢西安市科技计划项目渊批准号院悦载再员园员圆冤和中央高校基本科研业务费专项资金渊批准号院悦匀阅圆园员园允悦园缘源冤资助的课题援
訫圆园员员中国物理学会悦澡蚤灶藻泽藻孕澡赠泽蚤糟葬造杂燥糟蚤藻贼赠
覮耘鄄皂葬蚤造院扎澡葬灶早造蚤灶赃凿噪岳糟澡凿援藻凿怎援糟灶
摇澡贼贼责院辕辕憎怎造蚤曾遭援蚤责澡赠援葬糟援糟灶
显退化援
本文的研究表明袁在员酝则葬凿渊杂蚤冤的剂量内袁无论是辐照时园灾还是原猿园灾辐照偏压袁栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂月阅都具有良好的抗酌射线辐射特性援由于实验条件的限制袁本文的酌射线累积总剂量低于杂蚤悦杂月阅的辐照容限袁所以未能观察到栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦肖特基接触的退化袁但是对参考空间辐照环境中的辐照剂量已经有一定的意义援对于不同的地球轨道袁航天器内部的辐射剂量在员园原源要员园原猿则葬凿渊杂蚤冤辕泽袁而在辐射环境半处冤袁航天器内部的年辐射剂量约达员酝则葬凿
图员摇栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂月阅的剖面图
最为恶劣的地球轨道渊约为地球同步轨道的高度一
实验中最高累计总剂量为员酝则葬凿渊杂蚤冤援电子辐照实验的辐照源为耘蕴灾鄄愿型电子加速器袁该加速器可以提供园要圆酝藻灾的电子援为了对应空间环境袁本文采用的电子能量为员酝藻灾袁剂量率为远郾愿缘伊员园员园藻辕糟皂圆泽袁最高累计总剂量为猿郾源猿伊员园员源藻辕糟皂圆渊实验单实验的辐照源为西安脉冲反应堆袁该反应堆形成的辐照环境是中子和酌射线混合场袁中子的归一化能则葬凿糟皂圆袁中子注量率为愿郾员伊造园苑灶糟皂原圆噪宰原员泽原员援在伊员园员猿灶辕糟皂圆的中子注量袁再以员酝宰的功率工作达到员伊造园员源灶辕糟皂圆的中子注量援最高中子注量对应的酌射线累计总剂量为猿猿噪则葬凿渊杂蚤冤援
以上的辐照试验均在室温下进行援酌射线和电子辐照过程中袁采用直流电源酝孕杂鄄猿园园缘蕴孕鄄猿对器件分别加园灾和原猿园灾偏压援在不同的累积总剂量下采用匀孕源员缘远粤和粤早蚤造藻灶贼猿源怨愿园粤对器件进行离线测试袁测试过程中均没有发现器件有明显的升温援中子辐照过程中袁所有器件均置园灾偏压援由于中子辐照会造成材料活化袁所以采用在线测试以获得不同中子剂量下器件的电流特性援
实验过程中袁反应堆先以圆园园噪宰的功率工作达到员量为员酝藻灾援实验中采用的灶辕酌比为猿郾猿伊员园愿灶辕
渊杂蚤冤咱怨暂袁即本文实验中的最高总剂量可以对应于空间环境中一年以上的电离辐照剂量
援
位认为该剂量可以对应员园园酝则葬凿渊杂蚤冤冤援中子辐照
猿郾实验结果与分析
猿郾员郾酌射线
摇摇对酌射线辐照前后的器件测试发现袁辐照偏压为园灾和原猿园灾的器件的辐照退化趋势没有明显似
咱愿暂
图圆摇酌射线辐照前后栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂月阅的正向特性渊葬冤和反向特性渊遭冤
猿郾圆郾高能电子
园灾和原猿园灾的器件的辐照退化趋势没有明显的区摇摇对电子辐照前后的器件测试发现袁辐照偏压为别袁这与之前报道的晕蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂月阅的实验结果不同咱猿暂援图猿是不同辐照偏压的器件辐照前后的正向特性援从图中可以看到袁经过猿郾源猿伊员园员源藻辕糟皂圆的电
的区别袁与晕蚤辕源匀鄄杂蚤悦肖特基接触的报道结果类特性渊该器件的辐照偏压为园灾冤援经过员酝则葬凿渊杂蚤冤
援图圆为栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂月阅辐照前后的典型电流
的酌射线辐照后袁杂蚤悦杂月阅的正反向特性都没有明
子辐照后袁不同辐照偏压下的栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂月阅的正向电流都在低电压下渊约园郾缘藻灾冤上升袁在更高的电压下下降
援
砸杂越
摇摇不同电子辐照剂量下的栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂月阅的串联电阻的变化如图源所示袁器件的串联电阻都随着辐照剂量的增加而增加
援
辕援
(员原)()渊猿冤
图源摇不同电子剂量下栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂月阅的串联电阻
图缘是辐照前后栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂月阅典型的反向特性渊该器件的辐照偏压为园灾冤援辐照前后器件的反向特性没有明显的退化袁这是由于杂蚤悦杂月阅的反向电流的大小主要由势垒高度决定咱愿暂袁而辐照后势垒高度变化比较小袁所以未造成反向电流的明显退化
援
图猿摇电子辐照前后栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂月阅的正向特性摇渊葬冤园灾辐照偏压曰渊遭冤原猿园灾辐照偏压
发射理论描述杂蚤悦杂月阅的电流特性咱员园暂院
器件工作在较小的正偏压时袁可以采用热电子
是砸蚤糟澡葬则凿泽燥灶常数渊员缘园粤糟皂原圆运原圆冤袁灶是理想因子援
肖特基势垒高度准月可以由下式得到院
择准⎞
陨杂越粤粤鄢栽圆藻曾责⎛⎜原⎟援
⎝⎠
线的线型区的线性拟合曲线与纵轴的截距得到袁粤鄢
⎡⎤⎥
陨云越陨杂藻曾责⎢渊灾原陨砸冤渊员冤云杂⎢⎥原员袁⎣⎦
陨杂是反向饱和电流袁可以由半对数坐标下的陨鄄灾曲
图缘摇电子辐照前后栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂月阅反向特性
{
}
渊圆冤
与酌射线只会引入电离损伤不同袁高能电子会在半导体器件中同时引入电离损伤和位移损伤援高能电子辐照杂蚤悦材料时袁造成悦原子和杂蚤原子位移圆圆园噪藻灾咱员员暂袁低于本文的辐照电子的能量援因此杂蚤悦所需的最低入射电子能量分别为员园园噪藻灾和
摇摇根据以上的肖特基参数提取理论袁可以计算出
辐照偏压为园灾和原猿园灾的栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦肖特基接触为园郾怨源藻灾与园郾愿源藻灾援电阻
的准月分别为园郾怨缘藻灾和园郾愿远藻灾袁辐照后分别下降
当器件的外加正偏压较大后袁可以提取串联
串联电阻的增加可以解释为电子辐照在杂蚤悦材料中引入的辐照生缺陷在杂蚤悦材料中引入了载流子去除效应和迁移率去除效应咱员圆暂袁造成了有源区电导率的
下降援
电子辐照后的样品在室温下放置了一段时间后再进行测试援经过一个星期后袁所有辐照后器件结果表明电子辐照造成栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂月阅的准月变化是由于电子辐照引入的电离损伤造成的袁而且电离损伤可以在常温退火后修复援猿郾猿郾中子
摇摇图远是栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂月阅经过不同中子注量辐照后的准月都完全恢复到了辐照前的数值援退火的测试
显示了良好的抗中子辐照能力
援
子辐照的位移效应不会导致栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦的准月变化袁
的正向特性援由于实验中酌射线的累积总剂量较低袁因此可以忽略酌射线对器件特性的影响援经过员伊员园员猿灶辕糟皂圆辐照后袁在较低的正向偏压下渊约园郾远藻灾冤袁器件的
特性没有明显变化袁说明栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦肖特基接触没有退化曰在较高的电压下器件的正向电流下降袁这是由于中子辐照造成有源区电导率下降导致的援在
图远摇不同中子注量下栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂月阅的正向特性
更高的中子注量下袁器件的正向电流变得很小袁器件无法正向开启援可能是由于有源区的载流子被辐照陷阱全部俘获袁器件的有源区变成了绝缘层造成的援
采用前文的参数提取方法袁可以获得辐照前栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂月阅的准月为园郾愿圆藻灾曰经过员伊员园员猿灶辕糟皂圆中
员猿
圆
源郾结论
源匀鄄杂蚤悦杂月阅的抗辐射特性援经过员酝则葬凿渊杂蚤冤的酌射猿郾源猿伊员园员源藻辕糟皂圆的电子辐照后器件势垒高度比辐经过员伊员园员猿灶辕糟皂圆的中子辐照后袁器件的串联电阻照前轻微下降袁但器件的反向特性没有明显退化援
本文采用酌射线尧高能电子和中子研究了栽蚤辕
线辐照后袁器件的电流特性基本没有退化曰经过
子辐照后没有明显的变化援经过员伊员园灶辕糟皂辐照
员源
圆
后袁栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂月阅的串联电阻从员愿郾远赘上升为
圆员郾缘赘援当辐照剂量达到员伊员园灶辕糟皂时袁器件的串噪声袁实验中没有获得器件反向电流的退化特性援
有所上升袁但肖特基接触没有明显退化援对于酌射线和高能电子袁在辐照过程中对器件加原猿园灾偏压袁其辐照效应与园灾偏压辐照时没有明显区别援本
联电阻超过了缘伊员园远赘援可能是由于测试系统引入的
与高能电子不同袁中子辐照只会对器件造成位
文的研究表明袁在不同的辐照偏压下袁栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦肖特基接触对于多种类型的辐照粒子都有较高的辐照容限袁可以在强辐射环境中长期应用援
移损伤援本文的研究结果表明袁员伊员园员猿灶辕糟皂圆的中
咱员暂
咱圆暂咱猿暂咱源暂咱缘暂咱远暂咱苑暂
宰葬灶早杂郧袁在澡葬灶早再酝袁在澡葬灶早再酝圆园园猿悦澡蚤灶援孕澡赠泽援员圆猿圆圆栽则葬灶泽援晕怎糟造援杂糟蚤援源愿圆圆圆怨孕澡赠泽援月员愿员怨猿员
也淳尧张玉明尧张义门尧罗晋生圆园园猿电子与信息学报圆缘猿愿怨暂
咱愿暂
在澡葬灶早蕴袁在澡葬灶早再酝袁在澡葬灶早再酝袁匀葬灶悦袁酝葬再允圆园园怨粤糟贼葬韩摇超尧马永吉圆园园怨物理学报缘愿圆愿愿暂
咱怨暂
宰葬灶早栽匝袁杂澡藻灶再孕袁宰葬灶早杂宰袁在澡葬灶早杂云员怨怨怨允燥怎则灶葬造燥枣晕葬贼蚤燥灶葬造哉灶蚤增藻则泽蚤贼赠燥枣阅藻枣藻灶泽藻栽藻糟澡灶燥造燥早赠圆员猿远渊蚤灶悦澡蚤灶藻泽藻冤咱王同权尧沈永平尧王尚武尧张树发员怨怨怨国防科技大学学报宰葬灶早杂郧袁再葬灶早蕴粤袁在澡葬灶早再酝袁在澡葬灶早再酝袁在澡葬灶早在再袁再葬灶允云圆园园猿悦澡蚤灶援孕澡赠泽援员圆园猿圆圆孕澡赠泽蚤糟泽怨远源怨园怨
杂贼燥则葬泽贼葬蕴袁月藻则早皂葬灶允孕袁允葬灶扎佴灶耘圆园园源允燥怎则灶葬造燥枣粤责责造蚤藻凿杂澡葬灶早再悦袁在澡葬灶早再酝袁在澡葬灶早再酝圆园园园晕怎糟造藻葬则耘造藻糟贼则燥灶蚤糟泽驭孕澡赠泽援杂蚤灶援缘愿圆愿愿渊蚤灶悦澡蚤灶藻泽藻冤咱张摇林尧张义门尧张玉明尧
杂澡藻则蚤凿葬灶阅悦袁悦澡怎灶早郧袁悦造葬则噪杂袁悦则藻泽泽造藻则允阅圆园园员陨耘耘耘
在澡葬灶早蕴袁在澡葬灶早再酝袁在澡葬灶早再酝袁匀葬灶悦袁酝葬再允圆园园怨悦澡蚤灶援运葬灶早杂酝袁匀葬允匀袁孕葬则噪杂匀袁运蚤皂匀杂袁悦澡怎灶杂阅袁运蚤皂再运
圆园园苑晕怎糟造援陨灶泽贼则怎皂援酝藻贼澡燥凿泽粤缘愿园源员远陨耘耘耘栽则葬灶泽援晕怎糟造援杂糟蚤援源苑缘怨愿孕澡赠泽援月员愿猿源怨园
月则蚤泽泽藻贼悦袁晕燥遭造葬灶糟韵袁孕蚤糟葬则凿悦袁允燥枣枣则藻云袁月则赠造蚤灶泽噪蚤悦圆园园园在澡葬灶早蕴袁在澡葬灶早再酝袁在澡葬灶早再酝袁匀葬灶悦袁酝葬再允圆园园怨悦澡蚤灶援
圆员猿远暂
咱员园暂咱员员暂咱员圆暂
杂澡葬灶早再悦袁在澡葬灶早再酝袁在澡葬灶早再酝袁蕴蚤怎在蕴圆园园猿允燥怎则灶葬造燥枣
耘造藻糟贼则燥灶蚤糟泽葬灶凿陨灶枣燥则皂葬贼蚤燥灶栽藻糟澡灶燥造燥早赠圆缘猿愿怨渊蚤灶悦澡蚤灶藻泽藻冤咱尚
阅藻贼藻糟贼蚤燥灶栽藻糟澡灶燥造燥早赠圆园源圆源渊蚤灶悦澡蚤灶藻泽藻冤咱尚也淳尧张义门尧张摇摇摇
玉明圆园园园核电子学与探测技术圆园源圆源暂
砸葬凿蚤贼蚤燥灶藻枣枣藻糟贼燥灶栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂月阅燥枣早葬皂皂葬鄄则葬赠袁
藻造藻糟贼则燥灶泽葬灶凿灶藻怎贼则燥灶泽鄢
渊杂糟澡燥燥造燥枣耘造藻糟贼则燥灶蚤糟葬灶凿悦燥灶贼则燥造耘灶早蚤灶藻藻则蚤灶早袁悦澡葬灶早蒺葬灶哉灶蚤增藻则泽蚤贼赠袁砸燥葬凿栽则葬枣枣蚤糟阅藻贼藻糟贼蚤燥灶葬灶凿耘择怎蚤责皂藻灶贼
耘灶早蚤灶藻藻则蚤灶早砸藻泽藻葬则糟澡悦藻灶贼藻则袁悦澡葬灶早蒺葬灶哉灶蚤增藻则泽蚤贼赠袁载蚤蒺葬灶摇苑员园园远源袁悦澡蚤灶葬冤渊砸藻糟藻蚤增藻凿圆员允怎造赠圆园员园曰则藻增蚤泽藻凿皂葬灶怎泽糟则蚤责贼则藻糟藻蚤增藻凿员圆粤怎早怎泽贼圆园员园冤
在澡葬灶早蕴蚤灶覮摇载蚤葬燥允蚤葬灶摇匝蚤怎再葬灶早鄄在澡葬灶早摇悦澡藻灶早匀燥灶早鄄蕴蚤葬灶早
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栽澡藻栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂糟澡燥贼贼噪赠遭葬则则蚤藻则凿蚤燥凿藻泽渊杂月阅泽冤憎藻则藻蚤则则葬凿蚤葬贼藻凿葬贼则燥燥皂贼藻皂责藻则葬贼怎则藻憎蚤贼澡
粤遭泽贼则葬糟贼
远园
悦燥早葬皂皂葬鄄则葬赠泽燥怎则糟藻袁
则葬凿蚤葬贼蚤燥灶援栽澡藻皂藻葬怎则藻皂藻灶贼则藻泽怎造贼泽泽澡燥憎贼澡葬贼原猿园灾则葬凿蚤葬贼蚤燥灶遭蚤葬泽增燥造贼葬早藻澡葬泽灶燥蚤灶枣造怎藻灶糟藻燥灶贼澡藻则葬凿蚤葬贼蚤燥灶藻枣枣藻糟贼燥枣贼澡藻
泽造蚤早澡贼造赠凿藻糟则藻葬泽藻凿袁憎澡蚤糟澡憎葬泽糟葬怎泽藻凿遭赠蚤燥灶蚤扎蚤灶早凿葬皂葬早藻燥枣澡蚤早澡藻灶藻则早赠藻造藻糟贼则燥灶袁葬灶凿则藻糟燥增藻则藻凿糟燥皂责造藻贼藻造赠葬枣贼藻则葬灶灶藻葬造蚤灶早凿藻早则葬贼蚤燥灶援栽澡藻燥灶鄄泽贼葬贼藻则藻泽蚤泽贼葬灶糟藻燥枣贼澡藻凿蚤燥凿藻泽蚤灶糟则藻葬泽藻凿葬枣贼藻则藻造藻糟贼则燥灶葬灶凿灶藻怎贼则燥灶则葬凿蚤葬蚤贼燥灶援运藻赠憎燥则凿泽院泽蚤造蚤糟燥灶糟葬则遭蚤凿藻袁杂糟澡燥贼贼噪赠遭葬则则蚤藻则凿蚤燥凿藻袁遭蚤葬泽增燥造贼葬早藻袁则葬凿蚤葬贼蚤燥灶藻枣枣藻糟贼孕粤悦杂院远员援愿圆援云噪袁远员援愿圆援原凿袁苑猿援源园援杂曾
凿蚤燥凿藻泽遭葬泽蚤糟葬造造赠则藻皂葬蚤灶贼澡藻泽葬皂藻增葬造怎藻泽援粤枣贼藻则葬灶藻造藻糟贼则燥灶凿燥泽藻燥枣猿郾源猿伊员园员源藻辕糟皂圆袁杂糟澡燥贼贼噪赠遭葬则则蚤藻则澡藻蚤早澡贼燥枣贼澡藻凿蚤燥凿藻泽
葬贼则燥燥皂贼藻皂责藻则贼怎则藻援粤枣贼藻则早葬皂皂葬鄄则葬赠葬灶凿藻造藻糟贼则燥灶则葬凿蚤葬贼蚤燥灶袁贼澡藻则藻增藻则泽藻糟怎则则藻灶贼燥枣栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂月阅澡葬凿灶燥燥遭增蚤燥怎泽造赠
鄢孕则燥躁藻糟贼泽怎责责燥则贼藻凿遭赠贼澡藻杂糟蚤藻灶糟藻葬灶凿栽藻糟澡灶燥造燥早赠孕则燥早则葬皂燥枣载蚤爷葬灶渊郧则葬灶贼晕燥援悦载再员园员圆冤葬灶凿贼澡藻杂责藻糟蚤葬造云怎灶凿枣燥则月葬泽蚤糟杂糟蚤藻灶贼蚤枣蚤糟砸藻泽藻葬则糟澡燥枣覮耘鄄皂葬蚤造院扎澡葬灶早造蚤灶赃凿噪岳糟澡凿援藻凿怎援糟灶
悦藻灶贼则葬造悦燥造造藻早藻泽袁悦澡葬灶早爷葬灶哉灶蚤增藻则泽蚤贼赠渊郧则葬灶贼晕燥援悦匀阅圆园员园允悦园缘源冤援
栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦肖特基势垒二极管抗辐射特性的研究
渊长安大学电子与控制工程学院袁长安大学道路交通检测与装备工程技术研究中心袁西安摇苑员园园远源冤
渊圆园员园年苑月圆员日收到曰圆园员园年愿月员圆日收到修改稿冤
鄢
张摇林覮摇肖摇剑摇邱彦章摇程鸿亮
对于酌射线和员酝藻灾电子辐照袁原猿园灾辐照偏压对器件的辐照效应没有明显的影响援经过员酝则葬凿渊杂蚤冤的酌射线或后栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦的势垒高度比辐照前轻微下降袁这是由于高能电子引入的电离损伤造成的袁且可以在常温下退火恢复援分别经过员酝则葬凿渊杂蚤冤的酌射线和猿郾源猿伊员园员源藻辕糟皂圆的电子辐照后袁器件反向电流的变化都比较轻微袁显示了良好的抗辐射特性援实验同时还发现电子和中子辐照会造成器件串联电阻增加援
者员伊造园员猿灶辕糟皂圆的中子辐照后袁栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦肖特基接触都没有明显退化曰经过猿郾源猿伊员园员源藻辕糟皂圆的员酝藻灾电子辐照
摇摇本文采用酌射线尧高能电子和中子对栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦肖特基势垒二极管渊杂月阅冤的抗辐射特性进行了研究援研究发现
关键词院碳化硅袁肖特基袁辐照袁偏压孕粤悦杂院远员援愿圆援云噪袁远员援愿圆援原凿袁苑猿援源园援杂曾
态对栽蚤辕杂蚤悦杂月阅的酌射线辐照效应的影响援
员郾引言
源匀鄄杂蚤悦肖特基势垒二极管渊杂月阅冤具有整流特性好尧击穿电压高尧高温特性好等优势袁是目前最成熟并已商用的杂蚤悦功率器件袁同时杂蚤悦肖特基接触也是其他多种杂蚤悦功率器件渊如酝耘杂云耘栽冤的重要部分咱员暂援由于杂蚤悦杂月阅主要应用在军事尧空间等强辐射领域袁对其抗辐照特性进行研究具有重要的意义援
圆郾器件制备与辐照实验
摇摇采用同质外延技术生长了杂蚤悦杂月阅工艺所需的外延材料袁设备为瑞典耘责蚤早则藻泽泽公司的灾孕缘园愿水平式低压热壁悦灾阅系统援衬底为从德国杂蚤悦则赠泽贼葬造援粤郧源匀鄄杂蚤悦单晶袁掺杂浓度约为缘伊员园员愿糟皂原猿援外延样品员园缘孕葬冤袁外延层的厚度约员园滋皂援采用非故意掺杂工艺获得低掺杂的灶型外延层援
经过标准的砸悦粤清洗工艺后袁在材料背面电子员园园园益高温退火圆皂蚤灶形成欧姆接触袁接着淀积悦则辕粤怎渊缘园辕圆园园灶皂冤援然后在材料的外延面采用电子束蒸发晕蚤辕悦则辕粤怎渊圆园园辕缘园辕圆园园灶皂冤袁剥离形成圆形肖特基图形援器件的剖面结构如图员所示援器件制备完成后袁用激光切片机将样品切开袁并采用陶瓷管壳进行封装袁用硅铝丝键合援高频悦灾测试获得外延层的净载流子浓度约为远郾源伊员园员源糟皂原猿援
辐照试验在西北核技术研究所进行援酌射线辐束蒸发晕蚤辕孕贼渊源缘园辕缘园灶皂冤袁然后在晕圆中经过生长温度为员缘苑园益袁压强为员园园皂遭葬则渊员遭葬越公司购买的杂蚤面袁偏离渊园园园员冤面愿毅的圆英寸灶型
一些文献报道咱圆要源暂袁但是目前的研究还存在很多空白援以往的研究中一般只采用一种辐照粒子进行实验研究袁而实际的辐照环境中往往存在多种辐照粒子援比较不同的辐照粒子对器件特性的影响袁具有重要的研究价值援先前的研究在辐照时大都将杂蚤悦杂月阅零偏置袁而在应用中杂蚤悦肖特基接触经常工作
接触金属之一袁栽蚤辕杂蚤悦肖特基接触的辐照效应已有
栽蚤是目前工艺最成熟尧研究最多的杂蚤悦肖特基
在反偏压下援目前已经有文献报道不同辐照偏压下的杂蚤悦器件的电离辐照损伤并不完全相同咱缘要苑暂袁但不同偏置状态下的栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂月阅的辐照效应是否有区别袁目前还鲜见报道援
源匀鄄杂蚤悦杂月阅的辐照效应援在酌射线和电子辐照时对
本文采用酌射线尧高能电子和中子研究了栽蚤辕
器件分别加园灾与原猿园灾偏压袁以研究不同偏置状
照实验的辐照源为远园悦燥袁剂量率为怨远郾猿则葬凿渊杂蚤冤辕泽渊员酝则葬凿渊杂蚤悦冤越员郾园猿酝则葬凿渊杂蚤冤冤咱圆暂渊员则葬凿越员园原圆郧赠冤袁
鄢西安市科技计划项目渊批准号院悦载再员园员圆冤和中央高校基本科研业务费专项资金渊批准号院悦匀阅圆园员园允悦园缘源冤资助的课题援
訫圆园员员中国物理学会悦澡蚤灶藻泽藻孕澡赠泽蚤糟葬造杂燥糟蚤藻贼赠
覮耘鄄皂葬蚤造院扎澡葬灶早造蚤灶赃凿噪岳糟澡凿援藻凿怎援糟灶
摇澡贼贼责院辕辕憎怎造蚤曾遭援蚤责澡赠援葬糟援糟灶
显退化援
本文的研究表明袁在员酝则葬凿渊杂蚤冤的剂量内袁无论是辐照时园灾还是原猿园灾辐照偏压袁栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂月阅都具有良好的抗酌射线辐射特性援由于实验条件的限制袁本文的酌射线累积总剂量低于杂蚤悦杂月阅的辐照容限袁所以未能观察到栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦肖特基接触的退化袁但是对参考空间辐照环境中的辐照剂量已经有一定的意义援对于不同的地球轨道袁航天器内部的辐射剂量在员园原源要员园原猿则葬凿渊杂蚤冤辕泽袁而在辐射环境半处冤袁航天器内部的年辐射剂量约达员酝则葬凿
图员摇栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂月阅的剖面图
最为恶劣的地球轨道渊约为地球同步轨道的高度一
实验中最高累计总剂量为员酝则葬凿渊杂蚤冤援电子辐照实验的辐照源为耘蕴灾鄄愿型电子加速器袁该加速器可以提供园要圆酝藻灾的电子援为了对应空间环境袁本文采用的电子能量为员酝藻灾袁剂量率为远郾愿缘伊员园员园藻辕糟皂圆泽袁最高累计总剂量为猿郾源猿伊员园员源藻辕糟皂圆渊实验单实验的辐照源为西安脉冲反应堆袁该反应堆形成的辐照环境是中子和酌射线混合场袁中子的归一化能则葬凿糟皂圆袁中子注量率为愿郾员伊造园苑灶糟皂原圆噪宰原员泽原员援在伊员园员猿灶辕糟皂圆的中子注量袁再以员酝宰的功率工作达到员伊造园员源灶辕糟皂圆的中子注量援最高中子注量对应的酌射线累计总剂量为猿猿噪则葬凿渊杂蚤冤援
以上的辐照试验均在室温下进行援酌射线和电子辐照过程中袁采用直流电源酝孕杂鄄猿园园缘蕴孕鄄猿对器件分别加园灾和原猿园灾偏压援在不同的累积总剂量下采用匀孕源员缘远粤和粤早蚤造藻灶贼猿源怨愿园粤对器件进行离线测试袁测试过程中均没有发现器件有明显的升温援中子辐照过程中袁所有器件均置园灾偏压援由于中子辐照会造成材料活化袁所以采用在线测试以获得不同中子剂量下器件的电流特性援
实验过程中袁反应堆先以圆园园噪宰的功率工作达到员量为员酝藻灾援实验中采用的灶辕酌比为猿郾猿伊员园愿灶辕
渊杂蚤冤咱怨暂袁即本文实验中的最高总剂量可以对应于空间环境中一年以上的电离辐照剂量
援
位认为该剂量可以对应员园园酝则葬凿渊杂蚤冤冤援中子辐照
猿郾实验结果与分析
猿郾员郾酌射线
摇摇对酌射线辐照前后的器件测试发现袁辐照偏压为园灾和原猿园灾的器件的辐照退化趋势没有明显似
咱愿暂
图圆摇酌射线辐照前后栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂月阅的正向特性渊葬冤和反向特性渊遭冤
猿郾圆郾高能电子
园灾和原猿园灾的器件的辐照退化趋势没有明显的区摇摇对电子辐照前后的器件测试发现袁辐照偏压为别袁这与之前报道的晕蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂月阅的实验结果不同咱猿暂援图猿是不同辐照偏压的器件辐照前后的正向特性援从图中可以看到袁经过猿郾源猿伊员园员源藻辕糟皂圆的电
的区别袁与晕蚤辕源匀鄄杂蚤悦肖特基接触的报道结果类特性渊该器件的辐照偏压为园灾冤援经过员酝则葬凿渊杂蚤冤
援图圆为栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂月阅辐照前后的典型电流
的酌射线辐照后袁杂蚤悦杂月阅的正反向特性都没有明
子辐照后袁不同辐照偏压下的栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂月阅的正向电流都在低电压下渊约园郾缘藻灾冤上升袁在更高的电压下下降
援
砸杂越
摇摇不同电子辐照剂量下的栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂月阅的串联电阻的变化如图源所示袁器件的串联电阻都随着辐照剂量的增加而增加
援
辕援
(员原)()渊猿冤
图源摇不同电子剂量下栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂月阅的串联电阻
图缘是辐照前后栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂月阅典型的反向特性渊该器件的辐照偏压为园灾冤援辐照前后器件的反向特性没有明显的退化袁这是由于杂蚤悦杂月阅的反向电流的大小主要由势垒高度决定咱愿暂袁而辐照后势垒高度变化比较小袁所以未造成反向电流的明显退化
援
图猿摇电子辐照前后栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂月阅的正向特性摇渊葬冤园灾辐照偏压曰渊遭冤原猿园灾辐照偏压
发射理论描述杂蚤悦杂月阅的电流特性咱员园暂院
器件工作在较小的正偏压时袁可以采用热电子
是砸蚤糟澡葬则凿泽燥灶常数渊员缘园粤糟皂原圆运原圆冤袁灶是理想因子援
肖特基势垒高度准月可以由下式得到院
择准⎞
陨杂越粤粤鄢栽圆藻曾责⎛⎜原⎟援
⎝⎠
线的线型区的线性拟合曲线与纵轴的截距得到袁粤鄢
⎡⎤⎥
陨云越陨杂藻曾责⎢渊灾原陨砸冤渊员冤云杂⎢⎥原员袁⎣⎦
陨杂是反向饱和电流袁可以由半对数坐标下的陨鄄灾曲
图缘摇电子辐照前后栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂月阅反向特性
{
}
渊圆冤
与酌射线只会引入电离损伤不同袁高能电子会在半导体器件中同时引入电离损伤和位移损伤援高能电子辐照杂蚤悦材料时袁造成悦原子和杂蚤原子位移圆圆园噪藻灾咱员员暂袁低于本文的辐照电子的能量援因此杂蚤悦所需的最低入射电子能量分别为员园园噪藻灾和
摇摇根据以上的肖特基参数提取理论袁可以计算出
辐照偏压为园灾和原猿园灾的栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦肖特基接触为园郾怨源藻灾与园郾愿源藻灾援电阻
的准月分别为园郾怨缘藻灾和园郾愿远藻灾袁辐照后分别下降
当器件的外加正偏压较大后袁可以提取串联
串联电阻的增加可以解释为电子辐照在杂蚤悦材料中引入的辐照生缺陷在杂蚤悦材料中引入了载流子去除效应和迁移率去除效应咱员圆暂袁造成了有源区电导率的
下降援
电子辐照后的样品在室温下放置了一段时间后再进行测试援经过一个星期后袁所有辐照后器件结果表明电子辐照造成栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂月阅的准月变化是由于电子辐照引入的电离损伤造成的袁而且电离损伤可以在常温退火后修复援猿郾猿郾中子
摇摇图远是栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂月阅经过不同中子注量辐照后的准月都完全恢复到了辐照前的数值援退火的测试
显示了良好的抗中子辐照能力
援
子辐照的位移效应不会导致栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦的准月变化袁
的正向特性援由于实验中酌射线的累积总剂量较低袁因此可以忽略酌射线对器件特性的影响援经过员伊员园员猿灶辕糟皂圆辐照后袁在较低的正向偏压下渊约园郾远藻灾冤袁器件的
特性没有明显变化袁说明栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦肖特基接触没有退化曰在较高的电压下器件的正向电流下降袁这是由于中子辐照造成有源区电导率下降导致的援在
图远摇不同中子注量下栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂月阅的正向特性
更高的中子注量下袁器件的正向电流变得很小袁器件无法正向开启援可能是由于有源区的载流子被辐照陷阱全部俘获袁器件的有源区变成了绝缘层造成的援
采用前文的参数提取方法袁可以获得辐照前栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂月阅的准月为园郾愿圆藻灾曰经过员伊员园员猿灶辕糟皂圆中
员猿
圆
源郾结论
源匀鄄杂蚤悦杂月阅的抗辐射特性援经过员酝则葬凿渊杂蚤冤的酌射猿郾源猿伊员园员源藻辕糟皂圆的电子辐照后器件势垒高度比辐经过员伊员园员猿灶辕糟皂圆的中子辐照后袁器件的串联电阻照前轻微下降袁但器件的反向特性没有明显退化援
本文采用酌射线尧高能电子和中子研究了栽蚤辕
线辐照后袁器件的电流特性基本没有退化曰经过
子辐照后没有明显的变化援经过员伊员园灶辕糟皂辐照
员源
圆
后袁栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂月阅的串联电阻从员愿郾远赘上升为
圆员郾缘赘援当辐照剂量达到员伊员园灶辕糟皂时袁器件的串噪声袁实验中没有获得器件反向电流的退化特性援
有所上升袁但肖特基接触没有明显退化援对于酌射线和高能电子袁在辐照过程中对器件加原猿园灾偏压袁其辐照效应与园灾偏压辐照时没有明显区别援本
联电阻超过了缘伊员园远赘援可能是由于测试系统引入的
与高能电子不同袁中子辐照只会对器件造成位
文的研究表明袁在不同的辐照偏压下袁栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦肖特基接触对于多种类型的辐照粒子都有较高的辐照容限袁可以在强辐射环境中长期应用援
移损伤援本文的研究结果表明袁员伊员园员猿灶辕糟皂圆的中
咱员暂
咱圆暂咱猿暂咱源暂咱缘暂咱远暂咱苑暂
宰葬灶早杂郧袁在澡葬灶早再酝袁在澡葬灶早再酝圆园园猿悦澡蚤灶援孕澡赠泽援员圆猿圆圆栽则葬灶泽援晕怎糟造援杂糟蚤援源愿圆圆圆怨孕澡赠泽援月员愿员怨猿员
也淳尧张玉明尧张义门尧罗晋生圆园园猿电子与信息学报圆缘猿愿怨暂
咱愿暂
在澡葬灶早蕴袁在澡葬灶早再酝袁在澡葬灶早再酝袁匀葬灶悦袁酝葬再允圆园园怨粤糟贼葬韩摇超尧马永吉圆园园怨物理学报缘愿圆愿愿暂
咱怨暂
宰葬灶早栽匝袁杂澡藻灶再孕袁宰葬灶早杂宰袁在澡葬灶早杂云员怨怨怨允燥怎则灶葬造燥枣晕葬贼蚤燥灶葬造哉灶蚤增藻则泽蚤贼赠燥枣阅藻枣藻灶泽藻栽藻糟澡灶燥造燥早赠圆员猿远渊蚤灶悦澡蚤灶藻泽藻冤咱王同权尧沈永平尧王尚武尧张树发员怨怨怨国防科技大学学报宰葬灶早杂郧袁再葬灶早蕴粤袁在澡葬灶早再酝袁在澡葬灶早再酝袁在澡葬灶早在再袁再葬灶允云圆园园猿悦澡蚤灶援孕澡赠泽援员圆园猿圆圆孕澡赠泽蚤糟泽怨远源怨园怨
杂贼燥则葬泽贼葬蕴袁月藻则早皂葬灶允孕袁允葬灶扎佴灶耘圆园园源允燥怎则灶葬造燥枣粤责责造蚤藻凿杂澡葬灶早再悦袁在澡葬灶早再酝袁在澡葬灶早再酝圆园园园晕怎糟造藻葬则耘造藻糟贼则燥灶蚤糟泽驭孕澡赠泽援杂蚤灶援缘愿圆愿愿渊蚤灶悦澡蚤灶藻泽藻冤咱张摇林尧张义门尧张玉明尧
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在澡葬灶早蕴袁在澡葬灶早再酝袁在澡葬灶早再酝袁匀葬灶悦袁酝葬再允圆园园怨悦澡蚤灶援运葬灶早杂酝袁匀葬允匀袁孕葬则噪杂匀袁运蚤皂匀杂袁悦澡怎灶杂阅袁运蚤皂再运
圆园园苑晕怎糟造援陨灶泽贼则怎皂援酝藻贼澡燥凿泽粤缘愿园源员远陨耘耘耘栽则葬灶泽援晕怎糟造援杂糟蚤援源苑缘怨愿孕澡赠泽援月员愿猿源怨园
月则蚤泽泽藻贼悦袁晕燥遭造葬灶糟韵袁孕蚤糟葬则凿悦袁允燥枣枣则藻云袁月则赠造蚤灶泽噪蚤悦圆园园园在澡葬灶早蕴袁在澡葬灶早再酝袁在澡葬灶早再酝袁匀葬灶悦袁酝葬再允圆园园怨悦澡蚤灶援
圆员猿远暂
咱员园暂咱员员暂咱员圆暂
杂澡葬灶早再悦袁在澡葬灶早再酝袁在澡葬灶早再酝袁蕴蚤怎在蕴圆园园猿允燥怎则灶葬造燥枣
耘造藻糟贼则燥灶蚤糟泽葬灶凿陨灶枣燥则皂葬贼蚤燥灶栽藻糟澡灶燥造燥早赠圆缘猿愿怨渊蚤灶悦澡蚤灶藻泽藻冤咱尚
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玉明圆园园园核电子学与探测技术圆园源圆源暂
砸葬凿蚤贼蚤燥灶藻枣枣藻糟贼燥灶栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂月阅燥枣早葬皂皂葬鄄则葬赠袁
藻造藻糟贼则燥灶泽葬灶凿灶藻怎贼则燥灶泽鄢
渊杂糟澡燥燥造燥枣耘造藻糟贼则燥灶蚤糟葬灶凿悦燥灶贼则燥造耘灶早蚤灶藻藻则蚤灶早袁悦澡葬灶早蒺葬灶哉灶蚤增藻则泽蚤贼赠袁砸燥葬凿栽则葬枣枣蚤糟阅藻贼藻糟贼蚤燥灶葬灶凿耘择怎蚤责皂藻灶贼
耘灶早蚤灶藻藻则蚤灶早砸藻泽藻葬则糟澡悦藻灶贼藻则袁悦澡葬灶早蒺葬灶哉灶蚤增藻则泽蚤贼赠袁载蚤蒺葬灶摇苑员园园远源袁悦澡蚤灶葬冤渊砸藻糟藻蚤增藻凿圆员允怎造赠圆园员园曰则藻增蚤泽藻凿皂葬灶怎泽糟则蚤责贼则藻糟藻蚤增藻凿员圆粤怎早怎泽贼圆园员园冤
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粤遭泽贼则葬糟贼
远园
悦燥早葬皂皂葬鄄则葬赠泽燥怎则糟藻袁
则葬凿蚤葬贼蚤燥灶援栽澡藻皂藻葬怎则藻皂藻灶贼则藻泽怎造贼泽泽澡燥憎贼澡葬贼原猿园灾则葬凿蚤葬贼蚤燥灶遭蚤葬泽增燥造贼葬早藻澡葬泽灶燥蚤灶枣造怎藻灶糟藻燥灶贼澡藻则葬凿蚤葬贼蚤燥灶藻枣枣藻糟贼燥枣贼澡藻
泽造蚤早澡贼造赠凿藻糟则藻葬泽藻凿袁憎澡蚤糟澡憎葬泽糟葬怎泽藻凿遭赠蚤燥灶蚤扎蚤灶早凿葬皂葬早藻燥枣澡蚤早澡藻灶藻则早赠藻造藻糟贼则燥灶袁葬灶凿则藻糟燥增藻则藻凿糟燥皂责造藻贼藻造赠葬枣贼藻则葬灶灶藻葬造蚤灶早凿藻早则葬贼蚤燥灶援栽澡藻燥灶鄄泽贼葬贼藻则藻泽蚤泽贼葬灶糟藻燥枣贼澡藻凿蚤燥凿藻泽蚤灶糟则藻葬泽藻凿葬枣贼藻则藻造藻糟贼则燥灶葬灶凿灶藻怎贼则燥灶则葬凿蚤葬蚤贼燥灶援运藻赠憎燥则凿泽院泽蚤造蚤糟燥灶糟葬则遭蚤凿藻袁杂糟澡燥贼贼噪赠遭葬则则蚤藻则凿蚤燥凿藻袁遭蚤葬泽增燥造贼葬早藻袁则葬凿蚤葬贼蚤燥灶藻枣枣藻糟贼孕粤悦杂院远员援愿圆援云噪袁远员援愿圆援原凿袁苑猿援源园援杂曾
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葬贼则燥燥皂贼藻皂责藻则贼怎则藻援粤枣贼藻则早葬皂皂葬鄄则葬赠葬灶凿藻造藻糟贼则燥灶则葬凿蚤葬贼蚤燥灶袁贼澡藻则藻增藻则泽藻糟怎则则藻灶贼燥枣栽蚤辕源匀鄄杂蚤悦杂月阅澡葬凿灶燥燥遭增蚤燥怎泽造赠
鄢孕则燥躁藻糟贼泽怎责责燥则贼藻凿遭赠贼澡藻杂糟蚤藻灶糟藻葬灶凿栽藻糟澡灶燥造燥早赠孕则燥早则葬皂燥枣载蚤爷葬灶渊郧则葬灶贼晕燥援悦载再员园员圆冤葬灶凿贼澡藻杂责藻糟蚤葬造云怎灶凿枣燥则月葬泽蚤糟杂糟蚤藻灶贼蚤枣蚤糟砸藻泽藻葬则糟澡燥枣覮耘鄄皂葬蚤造院扎澡葬灶早造蚤灶赃凿噪岳糟澡凿援藻凿怎援糟灶
悦藻灶贼则葬造悦燥造造藻早藻泽袁悦澡葬灶早爷葬灶哉灶蚤增藻则泽蚤贼赠渊郧则葬灶贼晕燥援悦匀阅圆园员园允悦园缘源冤援