哈尔滨工业大学2017年研究生超精密加工试题
1、单晶金刚石刀具的切削刃有哪几种形式，说明各自特点及其运用范围。
2、液体静压主轴和空气静压轴承主轴分别适用于何种超精密机床？为什么？
3、简述滚珠丝杆的制造误差对超精密机床进给运动精度的影响，并说明提高机床直线运动精度的技术措施。
4、简述硬脆材料超精密磨削机理和实现条件。
5、简述化学机械抛光的原理、特点和应用。
6、简述计算机控制小工具抛光光学非球面的原理并分析该方法为什么能达到很高的面形精度。
7、用简图表示误差补偿系统的组成及各部分作用。
8、如何采用测量方法补偿工件直线度误差？简图表示其原理。若只有一只高精度传感器且允许工件拆卸，如何利用误差分离测量补偿直线度，简图和公式表示原理。
哈尔滨工业大学2017年研究生超精密加工试题
1、单晶金刚石刀具的切削刃有哪几种形式，说明各自特点及其运用范围。
2、液体静压主轴和空气静压轴承主轴分别适用于何种超精密机床？为什么？
3、简述滚珠丝杆的制造误差对超精密机床进给运动精度的影响，并说明提高机床直线运动精度的技术措施。
4、简述硬脆材料超精密磨削机理和实现条件。
5、简述化学机械抛光的原理、特点和应用。
6、简述计算机控制小工具抛光光学非球面的原理并分析该方法为什么能达到很高的面形精度。
7、用简图表示误差补偿系统的组成及各部分作用。
8、如何采用测量方法补偿工件直线度误差？简图表示其原理。若只有一只高精度传感器且允许工件拆卸，如何利用误差分离测量补偿直线度，简图和公式表示原理。