方块电阻标准检验方法
1 检验项目：ITO 方块电阻
2 定义：利用四探针法在一定的压力之下测得的面电阻值。
3 适用范围：本标准检验方法适用于ITO 材料方阻的测量。
4 目的：测量ITO 材料的方阻以判定ITO 镀膜品质。
5 测量原理及检验方法： 5.1 方法一
5.1.1 样品准备：ITO Film ITO Glass
5.1.2 使用装置：四探针测试头、导线、万用表、稳压电源 5.1.3测量原理
a) 给四探针测试头两探针施加DC 1V电压，另外两探针接万用表直流电流挡，如图2 b) 依公式算出方块电阻 计算公式：
R S =2π*V/(ln2*I) R S ：方块电阻 Ω/□ V ：施加的电压 I ：测得的电流
注意：探头的表面弧度为SR0.9mm
探头压力0.45±0.15N 或50±15gf 探头间距3mm ，如图1
图 1
I 图 2
5.1.4 操作步骤：
a) Film 按TD*355mm切割材料，Glass 按进料尺寸 b) 将稳压电源调至ON ，电压调至1V
c) 将稳压电源正极接至探针一端、负极接至探针另一端，如图
d) 将万用表置直流电流档，一表笔接至探针一端，一表笔接至探针另一端，如图 e) 将试片有效区域等距分成N 点，开始测试并记录数值。 f) 将所测得数值输入表1，计算其方阻。
5.2方法二
5.2.1样品准备：ITO Film ITO Glass 5.2.2使用装置：方阻仪 5.2.3 操作步骤：
g) Film 按TD*300mm切割，Glass 按进料尺寸 h) 将稳压电源调至ON ，电压调至1V i) 将方阻仪置ON 挡
j) 将试片有效区域等距分成N 点，开始测试并记录数值。 k) 将所测得数值输入表1，计算其方阻。
6 评定准则 方阻均匀度
6.1 来料：MD 方向均匀度≤8%；TD 方向均匀度≤5% 6.2 预缩后：MD 方向均匀度≤10%；TD 方向均匀度≤7%
7 参考资料
7.1《Nitto ITO Film 规格书》 7.2《南玻ITO 玻璃规格书》
7.3 刘新福, 孙以材, 刘东升. 四探针技术测量薄层电阻的原理及应用[J ] . 半导体技术,2004 ,29 (7) 7.4 刘新福, 孙以材. 微区薄层电阻测试方法的研究[J ].河北工业大学学报,2003,32(3)
7.5 孙以材, 张林在. 用改进的Van der Pauw法测定方形微区的方块电阻[J].物理学报,1994,43(4)
8 数据处理 8.1计算方法
X Ave. = （列1+列2+列3）/3 X 极差 = X Max. - XMin.
X TD = 2[ABS(列2-列1) +ABS(列3-列2) +ABS(列3-列1)]/3*( X Max .+ XMin. ) Y Ave. = （行1+行2+行3）/3 Y 极差 = Y Max. - YMin.
Y TD = 2[ABS(行2-行1) +ABS(行3-行2) +ABS(行3-行1)]/3*( Y Max. + YMin. )
8.2 附表1
方阻检验记录及报告
检验日期： 年 月 日 室温： 检验批号： 湿度： 试样： 供应商料号：
表1：方块电阻检验记录表 试片___ 行1 行2 行3 Y1 Y2 Y3 YMax. YMin. YAve. Y 极差 YMD
备注：
列1
列2
列3
X1
X2
X3
XMax.
XMin.
XAve. X 极差
XTD
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方块电阻标准检验方法
1 检验项目：ITO 方块电阻
2 定义：利用四探针法在一定的压力之下测得的面电阻值。
3 适用范围：本标准检验方法适用于ITO 材料方阻的测量。
4 目的：测量ITO 材料的方阻以判定ITO 镀膜品质。
5 测量原理及检验方法： 5.1 方法一
5.1.1 样品准备：ITO Film ITO Glass
5.1.2 使用装置：四探针测试头、导线、万用表、稳压电源 5.1.3测量原理
a) 给四探针测试头两探针施加DC 1V电压，另外两探针接万用表直流电流挡，如图2 b) 依公式算出方块电阻 计算公式：
R S =2π*V/(ln2*I) R S ：方块电阻 Ω/□ V ：施加的电压 I ：测得的电流
注意：探头的表面弧度为SR0.9mm
探头压力0.45±0.15N 或50±15gf 探头间距3mm ，如图1
图 1
I 图 2
5.1.4 操作步骤：
a) Film 按TD*355mm切割材料，Glass 按进料尺寸 b) 将稳压电源调至ON ，电压调至1V
c) 将稳压电源正极接至探针一端、负极接至探针另一端，如图
d) 将万用表置直流电流档，一表笔接至探针一端，一表笔接至探针另一端，如图 e) 将试片有效区域等距分成N 点，开始测试并记录数值。 f) 将所测得数值输入表1，计算其方阻。
5.2方法二
5.2.1样品准备：ITO Film ITO Glass 5.2.2使用装置：方阻仪 5.2.3 操作步骤：
g) Film 按TD*300mm切割，Glass 按进料尺寸 h) 将稳压电源调至ON ，电压调至1V i) 将方阻仪置ON 挡
j) 将试片有效区域等距分成N 点，开始测试并记录数值。 k) 将所测得数值输入表1，计算其方阻。
6 评定准则 方阻均匀度
6.1 来料：MD 方向均匀度≤8%；TD 方向均匀度≤5% 6.2 预缩后：MD 方向均匀度≤10%；TD 方向均匀度≤7%
7 参考资料
7.1《Nitto ITO Film 规格书》 7.2《南玻ITO 玻璃规格书》
7.3 刘新福, 孙以材, 刘东升. 四探针技术测量薄层电阻的原理及应用[J ] . 半导体技术,2004 ,29 (7) 7.4 刘新福, 孙以材. 微区薄层电阻测试方法的研究[J ].河北工业大学学报,2003,32(3)
7.5 孙以材, 张林在. 用改进的Van der Pauw法测定方形微区的方块电阻[J].物理学报,1994,43(4)
8 数据处理 8.1计算方法
X Ave. = （列1+列2+列3）/3 X 极差 = X Max. - XMin.
X TD = 2[ABS(列2-列1) +ABS(列3-列2) +ABS(列3-列1)]/3*( X Max .+ XMin. ) Y Ave. = （行1+行2+行3）/3 Y 极差 = Y Max. - YMin.
Y TD = 2[ABS(行2-行1) +ABS(行3-行2) +ABS(行3-行1)]/3*( Y Max. + YMin. )
8.2 附表1
方阻检验记录及报告
检验日期： 年 月 日 室温： 检验批号： 湿度： 试样： 供应商料号：
表1：方块电阻检验记录表 试片___ 行1 行2 行3 Y1 Y2 Y3 YMax. YMin. YAve. Y 极差 YMD
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X2
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2. 触摸屏供求商机：免费发布触控面板产品、触摸屏材料、触摸屏设备、触摸屏一体机、人机界面、大屏幕显示器、广告机、金融自助设备、薄膜开关、电子白板LED 电子显示屏等
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4. 触摸屏杂志：《触动中国》电子杂志聚焦触控面板行业资讯、技术，行业厂商和市场趋势。
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