MEMS传感器和智能传感器的发展
刘 凯，陈志东1，马丽敏2
1
（1. 沈阳仪表科学研究院，辽宁沈阳 110043；2.仪表技术与传感器编辑部，辽宁沈阳 110043）
摘要：摘要包括研究目的，即要解决的问题；研究方法，介绍研究途径、采用的手段(模型)、实验范围与方法；结果与结论。200字左右，楷体小五号。第三人称主动态表述，切忌将在引言中出现的内容写入摘要，使用规范化术语，除常用术语，对于缩略语在首次出现时必须加以说明。
关键词: 关键词1; 关键词2；关键词3；…… 3~8个关键词，用中文表示，不用英文，分号隔开 中图分类号:
**** 文献标识码: A 文章编号：1002-1841(2010)00-0000-00
Development of MEMS Sensor and Intelligent Sensor
LIU Kai1, CHEN Zhi-dong1,MA Li-min2
(1.Shenyang Academy of Instrumentation Science, Shenyang 110043, China; 2.„„)
Abstract:
第三人称叙述，尽量使用简单句；介绍作者工作（目的、方法、结果）用过去时，简述作者结论用一般现在时。温馨提示：为了便于Ei等数据库收录您的文章，并使您的文章被更多的人在线检索，请务必写好中英文摘要。如果注意：文章中不含“作者”、“本人”、“我”、“笔者”、“本文”等字样
设置为A4页面，正文部分用小5号宋体字，分两栏排。
0 引言（引言为可选项）
„„
表1 表题（小5号黑体）
题目1 题目2 题目3 „„ 例如：电压/V 频率/Hz „„
1 一级标题 （小5号黑体）
„„
1.1 二级标题 （小5号黑体） „„
1.2 二级标题 （小5号黑体） 1.2.1 三级标题 （小5号楷体） „„
1.2.2 三级标题 （小5号楷体） „„
正文中，图表须注明中文图题和中文表题，且在正文中应明确提及（例：如图1所示）。
表的编号和表题置于表上方的居中位置，表格采用三线表。尽量分栏排列。量和单位一般放在第一行，量和单位需要标注清楚。
10 20 30 40 20 40 60 80
图的编号和图题置于图下方的居中位置。插图尽量少用实物图，可用原理图、示意图、框图代替。在电路图中，没有用到的器件引脚不必画出。图中，电阻、电容、电感、电压、电流符号用斜体表示，如R、C、L、V、I；表示序号的数字用下角标，如R1。 插图为黑白绘图，尽量分栏排列，并确保图中文字清晰。插图的具体要求见“插图要求”
基金项目：基金项目1全称（基金项目号）；基金项目2全称（基金项目号）；…… 收稿日期：2009-08-20 收修改稿日期：
公式用公式编辑器编辑（最好横排，如a/b），其中量的符号应采用斜体，矢量、矩阵用黑斜体表示。函数（单词）用正体小写。公式中出现的符号需要在公式下标注清楚量和单位。 例如：
C2
Sd
2
d (1)
式中：为空气的介电常数；S为„„；d为„„；d为„„。
X 结束语
内容勿与摘要或引言雷同 参考文献：
格式见下页
作者简介: 第一作者姓名(出生年－)，职称，学位(或目前学历)，主要研究领域。E-mail：„„
※请给出联系作者的详细信息，以方便邮寄样刊及稿酬。包括姓名、邮寄地址、邮编、手机号码、固定电话、E-mail及身份证号（付稿酬时用）。
参考文献: 宋体6号，按正文中引用文献出现的先后顺序编号。注意：个人著者采用姓前名后的形式，英文作者姓全部大写，名可缩写，省略缩写点。如J.C.SMITH 写为SMITH J C，Albert Einstein写为EINSTEIN A。著者间以“，”隔开，3人以上者，录入前3人姓名后加“等”，英文姓名则加“et al”。
期刊 ［序号］ 著者.题名.刊名, 出版年,卷号(期号):起始页码.
[1] 卢浩，胡华平，刘波.恶意软件分类方法研究.计算机应用研究，2006，23(9):4-7,12.
[2]VARSHNEY U,VETTER R. Mobile commerce: framework, applications and networking support. Mobile Networks and Applications, 2002, 7(3):185-198.
[3]李晓东，张庆红，叶瑾琳.气候学研究的若干理论问题.北京大学学报：自然科学版,1999,35(1):101-106.
专著 ［序号］ 著者.书名.译者，译.版本项（初版不写） 出版地(城市名): 出版者, 出版年：起始页码. [4] 昂温 G. 外国出版史.陈生铮，译.北京：中国书籍出版社，1988.
[5] ROOD H J. Logic and structured design for computer programmers.3rd ed.[S.l.]:Brooks/Cole-Thomson Learning,2001. 注：无出版地的中文文献标注“出版地不详”，外文文献标注“S.l.”并置于方括号[ ]内；无出版者的中文文献标注“出版者不详”，外文文献标注“s.n.”并置于[ ]内
学位论文 ［序号］ 著者.题名：[学位论文]. 保存地（城市名）：学位授予单位,年份. [6] 史龙.无线传感器网络自身定位算法研究[学位论文].西安：西北工业大学，2005.
会议论文 ［序号］ 著者.题名.会议名称，会址，会议年份.
[7] 杨燮龙，杨介信，赵振杰，等.纳米巨磁阻抗效应与磁敏器件.全国第二届纳米材料和技术应用会议，杭州，2001.
专利 ［序号］专利所有者.专利题名：专利国别，专利号.公告日期. [8] 刘加林.多功能一次性压舌板：中国，92214985.2[P].1993-04-14.
标准 ［序号］ 标准代号 标准名称. [9] GB/T 5795—1986 中国标准书号..
[10] ISO/IEC 10181-3 Information technology: open system interconnection security frameworks for open system: access control framework.
电子文献 ［序号］著者.题名［文献类型标志/电子文献载体标志］.(更新日期) [引用日期].获取和访问路径.
[11]黎妹红，张其善.用迭代法求指纹图像中的阈值[EB/OL].(2004-12-18) [2005-05-20]. http://www.21ic.com/news/n1941c72.aspx..
[12] CHRISTINE M. Plant physiology: plant biology in the Genome Era[J/OL]. Science,1998, 281: 331-332[1998-09-23]. http://www.sciencemag.org/cgi/collection/anatmorp.
[13] OTT A. The Rule Set Based Access Control(RSBAC) Linux kernel security extension[C/OL]//The 8th international Linux Kongress, Enschede, 2001(2001-11-30). http://www.rsbac.org/linux-kongress/index.html.
[14] TURCOTTE D L. Fractals and chaos in geology and geophysics[M/OL].New York:Cambridge University Press,1992[1998-09-23].http://www.seg.org/reviews/mccorm30.html.
[15] Scitor Corporation. Project scheduler[CP/DK].Sunnyvale: Scitor Corporation,1983.
析出文献 ［序号］ 著者.析出题目[文献类型标志]//整本文献的编者姓名. 文集实际完整名称.版本项.出版地(城市名): 出版者,出版年:起止页码.
[16] 程根伟.1998年长江洪水的成因与减灾对策//许泽厚，赵其国.长江流域洪涝灾害与科技对策.北京：科学出版社，1999：32-36.
[17] 钟文发.非线性规划在可燃毒物配置中的应用//赵玮.运筹学的理论与应用：中国运筹学会第五届大会论文文集.西安：西安电子科技大学出版社，1996：468-471.
[18] FOURNEY M E. Advances in holographic photoelasticity[C]//American Society of Mechanical Engineers. Applied Mechanics Division. Symposium on Applications of Holography in Mechanics,1971,University of Southern California, Los Angeles. New York:ASME,1971:17-38.
科技报告、手册等 ［序号］ 著者.题名. 出版地 (城市名): 出版者, 出版年.
[19] World Health Organization. Factors regulating the immune response：report of WHO Science Group[R].Geneva:WHO,1970.
报纸 ［序号］ 著者.题名.报纸名, 出版日期（所在版）.
[20] 丁文祥.数字革命与竞争国际化.中国青年报，2000-11-20（15）.
MEMS传感器和智能传感器的发展
刘 凯，陈志东1，马丽敏2
1
（1. 沈阳仪表科学研究院，辽宁沈阳 110043；2.仪表技术与传感器编辑部，辽宁沈阳 110043）
摘要：摘要包括研究目的，即要解决的问题；研究方法，介绍研究途径、采用的手段(模型)、实验范围与方法；结果与结论。200字左右，楷体小五号。第三人称主动态表述，切忌将在引言中出现的内容写入摘要，使用规范化术语，除常用术语，对于缩略语在首次出现时必须加以说明。
关键词: 关键词1; 关键词2；关键词3；…… 3~8个关键词，用中文表示，不用英文，分号隔开 中图分类号:
**** 文献标识码: A 文章编号：1002-1841(2010)00-0000-00
Development of MEMS Sensor and Intelligent Sensor
LIU Kai1, CHEN Zhi-dong1,MA Li-min2
(1.Shenyang Academy of Instrumentation Science, Shenyang 110043, China; 2.„„)
Abstract:
第三人称叙述，尽量使用简单句；介绍作者工作（目的、方法、结果）用过去时，简述作者结论用一般现在时。温馨提示：为了便于Ei等数据库收录您的文章，并使您的文章被更多的人在线检索，请务必写好中英文摘要。如果注意：文章中不含“作者”、“本人”、“我”、“笔者”、“本文”等字样
设置为A4页面，正文部分用小5号宋体字，分两栏排。
0 引言（引言为可选项）
„„
表1 表题（小5号黑体）
题目1 题目2 题目3 „„ 例如：电压/V 频率/Hz „„
1 一级标题 （小5号黑体）
„„
1.1 二级标题 （小5号黑体） „„
1.2 二级标题 （小5号黑体） 1.2.1 三级标题 （小5号楷体） „„
1.2.2 三级标题 （小5号楷体） „„
正文中，图表须注明中文图题和中文表题，且在正文中应明确提及（例：如图1所示）。
表的编号和表题置于表上方的居中位置，表格采用三线表。尽量分栏排列。量和单位一般放在第一行，量和单位需要标注清楚。
10 20 30 40 20 40 60 80
图的编号和图题置于图下方的居中位置。插图尽量少用实物图，可用原理图、示意图、框图代替。在电路图中，没有用到的器件引脚不必画出。图中，电阻、电容、电感、电压、电流符号用斜体表示，如R、C、L、V、I；表示序号的数字用下角标，如R1。 插图为黑白绘图，尽量分栏排列，并确保图中文字清晰。插图的具体要求见“插图要求”
基金项目：基金项目1全称（基金项目号）；基金项目2全称（基金项目号）；…… 收稿日期：2009-08-20 收修改稿日期：
公式用公式编辑器编辑（最好横排，如a/b），其中量的符号应采用斜体，矢量、矩阵用黑斜体表示。函数（单词）用正体小写。公式中出现的符号需要在公式下标注清楚量和单位。 例如：
C2
Sd
2
d (1)
式中：为空气的介电常数；S为„„；d为„„；d为„„。
X 结束语
内容勿与摘要或引言雷同 参考文献：
格式见下页
作者简介: 第一作者姓名(出生年－)，职称，学位(或目前学历)，主要研究领域。E-mail：„„
※请给出联系作者的详细信息，以方便邮寄样刊及稿酬。包括姓名、邮寄地址、邮编、手机号码、固定电话、E-mail及身份证号（付稿酬时用）。
参考文献: 宋体6号，按正文中引用文献出现的先后顺序编号。注意：个人著者采用姓前名后的形式，英文作者姓全部大写，名可缩写，省略缩写点。如J.C.SMITH 写为SMITH J C，Albert Einstein写为EINSTEIN A。著者间以“，”隔开，3人以上者，录入前3人姓名后加“等”，英文姓名则加“et al”。
期刊 ［序号］ 著者.题名.刊名, 出版年,卷号(期号):起始页码.
[1] 卢浩，胡华平，刘波.恶意软件分类方法研究.计算机应用研究，2006，23(9):4-7,12.
[2]VARSHNEY U,VETTER R. Mobile commerce: framework, applications and networking support. Mobile Networks and Applications, 2002, 7(3):185-198.
[3]李晓东，张庆红，叶瑾琳.气候学研究的若干理论问题.北京大学学报：自然科学版,1999,35(1):101-106.
专著 ［序号］ 著者.书名.译者，译.版本项（初版不写） 出版地(城市名): 出版者, 出版年：起始页码. [4] 昂温 G. 外国出版史.陈生铮，译.北京：中国书籍出版社，1988.
[5] ROOD H J. Logic and structured design for computer programmers.3rd ed.[S.l.]:Brooks/Cole-Thomson Learning,2001. 注：无出版地的中文文献标注“出版地不详”，外文文献标注“S.l.”并置于方括号[ ]内；无出版者的中文文献标注“出版者不详”，外文文献标注“s.n.”并置于[ ]内
学位论文 ［序号］ 著者.题名：[学位论文]. 保存地（城市名）：学位授予单位,年份. [6] 史龙.无线传感器网络自身定位算法研究[学位论文].西安：西北工业大学，2005.
会议论文 ［序号］ 著者.题名.会议名称，会址，会议年份.
[7] 杨燮龙，杨介信，赵振杰，等.纳米巨磁阻抗效应与磁敏器件.全国第二届纳米材料和技术应用会议，杭州，2001.
专利 ［序号］专利所有者.专利题名：专利国别，专利号.公告日期. [8] 刘加林.多功能一次性压舌板：中国，92214985.2[P].1993-04-14.
标准 ［序号］ 标准代号 标准名称. [9] GB/T 5795—1986 中国标准书号..
[10] ISO/IEC 10181-3 Information technology: open system interconnection security frameworks for open system: access control framework.
电子文献 ［序号］著者.题名［文献类型标志/电子文献载体标志］.(更新日期) [引用日期].获取和访问路径.
[11]黎妹红，张其善.用迭代法求指纹图像中的阈值[EB/OL].(2004-12-18) [2005-05-20]. http://www.21ic.com/news/n1941c72.aspx..
[12] CHRISTINE M. Plant physiology: plant biology in the Genome Era[J/OL]. Science,1998, 281: 331-332[1998-09-23]. http://www.sciencemag.org/cgi/collection/anatmorp.
[13] OTT A. The Rule Set Based Access Control(RSBAC) Linux kernel security extension[C/OL]//The 8th international Linux Kongress, Enschede, 2001(2001-11-30). http://www.rsbac.org/linux-kongress/index.html.
[14] TURCOTTE D L. Fractals and chaos in geology and geophysics[M/OL].New York:Cambridge University Press,1992[1998-09-23].http://www.seg.org/reviews/mccorm30.html.
[15] Scitor Corporation. Project scheduler[CP/DK].Sunnyvale: Scitor Corporation,1983.
析出文献 ［序号］ 著者.析出题目[文献类型标志]//整本文献的编者姓名. 文集实际完整名称.版本项.出版地(城市名): 出版者,出版年:起止页码.
[16] 程根伟.1998年长江洪水的成因与减灾对策//许泽厚，赵其国.长江流域洪涝灾害与科技对策.北京：科学出版社，1999：32-36.
[17] 钟文发.非线性规划在可燃毒物配置中的应用//赵玮.运筹学的理论与应用：中国运筹学会第五届大会论文文集.西安：西安电子科技大学出版社，1996：468-471.
[18] FOURNEY M E. Advances in holographic photoelasticity[C]//American Society of Mechanical Engineers. Applied Mechanics Division. Symposium on Applications of Holography in Mechanics,1971,University of Southern California, Los Angeles. New York:ASME,1971:17-38.
科技报告、手册等 ［序号］ 著者.题名. 出版地 (城市名): 出版者, 出版年.
[19] World Health Organization. Factors regulating the immune response：report of WHO Science Group[R].Geneva:WHO,1970.
报纸 ［序号］ 著者.题名.报纸名, 出版日期（所在版）.
[20] 丁文祥.数字革命与竞争国际化.中国青年报，2000-11-20（15）.