洁净室检测之高效过滤器完整性检测

旦霆科技作为专业的洁净室检测/洁净室验证/洁净室第三方检测/洁净车间检测/洁净厂房检测/无尘室检测/无尘车间检测检测机构,具备CMA资质,专业的检测团队,采用国外知名品牌的检测仪器为国内300余家客户提供了优质的检测服务。

高效过滤器完整性检测又称高效检漏、PAO检漏、高效过滤器检漏、DOP检漏等。

1.高效过滤器完整性测试方法/高效过滤器检漏方法/高效过滤器DOP检漏方法

操作步骤

1.1 预检查

1.1.1产生气溶胶

①对于非层流区域

- 关闭HVAC的风机。

- 拆除中效过滤器。

- 将气溶胶发生器放置于机组的负压段。

②对于层流单元

- 发烟位置靠近回风口,风机进风口或专门的气溶胶发烟口。

1.1.2气溶胶浓度测定

- 找到高效过滤器前的测试软管或测试孔,如果没有测试孔,可在空调机组的压力表处测试上游浓度。

- 将光度计内部参数调节至100。

1.1.3 高效过滤器完整性检测(高效检漏)

- 扫描HEPA的表面及其边框。

- 对球型结构,直接将高效过滤器的软管或洞与光度计下游通道相连。

1.2  高效过滤器完整性检测(高效检漏)测试程序

1.2.1产生气溶胶

- 接通电源,温度升至400¡ãC。

- 连接氮气,检查氮气供气压力为50psig(3.45bar)。

1.2.2开启气溶胶发生按钮,等几分钟后,气溶胶到达终端过滤器。

1.2.3高效过滤器完整性检测上游浓度测试

Ø 将扫描探头与上游浓度测试孔相连接。

Ø 按或键,使光标停留在“上游100%浓度检测”,按“确认”;观察上游浓度数值,调节读数在20-80之间,读数稳定后记录下读数。

1.2.5高效过滤器完整性检测下游浓度检测

Ø 将扫描探头与下游浓度测试孔相连接。

Ø 调整光标至“使用内部参考值”

Ø 按“确认”键,调节参数值至测定的上游浓度值。

Ø 扫描过滤器表面及边框,距滤器表面距离约3cm。

Ø 采样头的往复扫描速度Sr约为15/Wp,使用3cm*3cm正方形采样头时,Sr=                  5cm/s;采用5cm*1cm的长方形采样头,Sr=3cm/s。(Sr为扫描速度,Wp为垂直于扫描方向的采样头宽度)。

1.2.5高效过滤器完整性检测上游浓度复核

Ø 将上游浓度测试管与上游浓度测试孔相连接。

Ø 按或键,使光标停留在“上游100%浓度检测”,按“确认”;观察上游浓度数值。上游浓度随时间变化不应超过平均测量值的±15%。

1.2.6结束

Ø 关闭气溶胶按钮。

Ø 氮气继续通过气溶胶发生器约30秒。

Ø 关闭N2。

Ø 关闭电源。

表1   高效过滤器完整性测试操作步骤

局部层流/房间百级(高效检漏)

非层流洁净室(高效检漏)

A.

拆除层流罩

B.

额定风速确定

测量点距过滤器出风面约150-300mm

测试点数取测试面积10倍的平方根,且不少点,每台风机出风面至少1点

平均风速范围:0.45 m/s±20%

额定风量测定

用风量罩测试送风量

风量罩的上开口应完全罩住过滤器或散流器

C.

产生气溶胶位置:回风口,风机进风口或发烟孔

气溶胶发生器与高效过滤器之间没有滤器或已拆除

D.

产生气溶胶

设置温度、供气压力及气溶胶数量

E.

光度计设置

气溶胶浓度调节

F.

检漏

扫描整个过滤器和安装所有边框和接点。

采样头扫描速率≤5cm/s(3cm*3cm)。

采样头扫描速率≤3cm/s(5cm*1cm)。

采样头距离滤器表面距离≤3cm.

检漏

扫描所有结构部件:

a)  支架和建筑物之间

b)  支架和滤器边框之间

c)  整个滤器

d)  密封条、框架及支架之间

e)  采样头扫描速率≤5cm/s(3cm*3cm)

f)  采样头扫描速率≤3cm/s(5cm*1cm)

g)  采样头距离滤器表面距离≤3cm

G.

高效过滤器检漏标准

泄露率≤0.01%

2.高效过滤器完整性检测标准(高效过滤器检漏标准)

ISO 14644-3;2005

GB/T25915.3-2010

GB50073-2013

JG/T292-2010

GB50472-2008

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高效过滤器完整性检测又称高效检漏、PAO检漏、高效过滤器检漏、DOP检漏等。

1.高效过滤器完整性测试方法/高效过滤器检漏方法/高效过滤器DOP检漏方法

操作步骤

1.1 预检查

1.1.1产生气溶胶

①对于非层流区域

- 关闭HVAC的风机。

- 拆除中效过滤器。

- 将气溶胶发生器放置于机组的负压段。

②对于层流单元

- 发烟位置靠近回风口,风机进风口或专门的气溶胶发烟口。

1.1.2气溶胶浓度测定

- 找到高效过滤器前的测试软管或测试孔,如果没有测试孔,可在空调机组的压力表处测试上游浓度。

- 将光度计内部参数调节至100。

1.1.3 高效过滤器完整性检测(高效检漏)

- 扫描HEPA的表面及其边框。

- 对球型结构,直接将高效过滤器的软管或洞与光度计下游通道相连。

1.2  高效过滤器完整性检测(高效检漏)测试程序

1.2.1产生气溶胶

- 接通电源,温度升至400¡ãC。

- 连接氮气,检查氮气供气压力为50psig(3.45bar)。

1.2.2开启气溶胶发生按钮,等几分钟后,气溶胶到达终端过滤器。

1.2.3高效过滤器完整性检测上游浓度测试

Ø 将扫描探头与上游浓度测试孔相连接。

Ø 按或键,使光标停留在“上游100%浓度检测”,按“确认”;观察上游浓度数值,调节读数在20-80之间,读数稳定后记录下读数。

1.2.5高效过滤器完整性检测下游浓度检测

Ø 将扫描探头与下游浓度测试孔相连接。

Ø 调整光标至“使用内部参考值”

Ø 按“确认”键,调节参数值至测定的上游浓度值。

Ø 扫描过滤器表面及边框,距滤器表面距离约3cm。

Ø 采样头的往复扫描速度Sr约为15/Wp,使用3cm*3cm正方形采样头时,Sr=                  5cm/s;采用5cm*1cm的长方形采样头,Sr=3cm/s。(Sr为扫描速度,Wp为垂直于扫描方向的采样头宽度)。

1.2.5高效过滤器完整性检测上游浓度复核

Ø 将上游浓度测试管与上游浓度测试孔相连接。

Ø 按或键,使光标停留在“上游100%浓度检测”,按“确认”;观察上游浓度数值。上游浓度随时间变化不应超过平均测量值的±15%。

1.2.6结束

Ø 关闭气溶胶按钮。

Ø 氮气继续通过气溶胶发生器约30秒。

Ø 关闭N2。

Ø 关闭电源。

表1   高效过滤器完整性测试操作步骤

局部层流/房间百级(高效检漏)

非层流洁净室(高效检漏)

A.

拆除层流罩

B.

额定风速确定

测量点距过滤器出风面约150-300mm

测试点数取测试面积10倍的平方根,且不少点,每台风机出风面至少1点

平均风速范围:0.45 m/s±20%

额定风量测定

用风量罩测试送风量

风量罩的上开口应完全罩住过滤器或散流器

C.

产生气溶胶位置:回风口,风机进风口或发烟孔

气溶胶发生器与高效过滤器之间没有滤器或已拆除

D.

产生气溶胶

设置温度、供气压力及气溶胶数量

E.

光度计设置

气溶胶浓度调节

F.

检漏

扫描整个过滤器和安装所有边框和接点。

采样头扫描速率≤5cm/s(3cm*3cm)。

采样头扫描速率≤3cm/s(5cm*1cm)。

采样头距离滤器表面距离≤3cm.

检漏

扫描所有结构部件:

a)  支架和建筑物之间

b)  支架和滤器边框之间

c)  整个滤器

d)  密封条、框架及支架之间

e)  采样头扫描速率≤5cm/s(3cm*3cm)

f)  采样头扫描速率≤3cm/s(5cm*1cm)

g)  采样头距离滤器表面距离≤3cm

G.

高效过滤器检漏标准

泄露率≤0.01%

2.高效过滤器完整性检测标准(高效过滤器检漏标准)

ISO 14644-3;2005

GB/T25915.3-2010

GB50073-2013

JG/T292-2010

GB50472-2008

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