ＡＮＳＹＳ在电磁无损检测中的应用
磁
冯蒙丽１，蔡玉平１，赵建君１，陈红叶１，宋春荣１，丁红胜２
（１．军械工程学院基础部，石家庄 ０５０００３；２．北京科技大学应用科学学院，北京 １０００８３）
摘要：介绍了电磁无损检测发展现状及其与仿真技术结合发展的必要性，建立了针对交流磁场检测（ＡＣＦＭ）金属
缺陷的仿真模型，列出了磁场、电流仿真方面的理论分析，同时简单介绍了涡流检测仿真的发展．展示了仿真技术在无损检测实际工程中的重大意义．关键词：ＡＮＳＹＳ；无损检测；ＡＣＦＭ；涡流检测中图分类号：ＴＰ２７４．５；Ｏ４４１文献标识码：Ａ文章编号：１００６－０７０７（２００９）０６－００２４－０３ 无损检测技术以不损坏检测对象的使用性为前提，以材料的物理性质为理论基础，其发展过程几乎利用了世界上所有物理研究的新成就，新方法，在航空，医学，机械材料，石油管道等领域具有广泛的应用价值
［１－７］
技应用软件．它是当前有限元分析软件中的佼佼者，它拥有丰富和完善的单元库、材料模型库和求解器，保证了它能够高效的求解各类电磁场问题，以及多场耦合问题
［１４－１５］
．．
实现无损检测的方法有多种，例如超声检测、射线检测、磁记忆检测、电磁检测等，其中电磁检测主要包括传统涡流检测以及近年发展起来的交变磁场检测（ＡＣＦＭ）．并且随着磁测量技术，尤其是２０世纪８０年代后随着ＳＱＵＩＤ的快速发展，电磁检测在电子电路方面又开拓出了一片新的领域
［８－１０］
本研究主要是针对当前新兴的ＡＣＦＭ无损检测手段先进行仿真研究，再与理论数值相比较，从而为实际检测系统中缺陷的定量研究提供理论上的指导．为使得出的仿真结果更具普遍指导意义，采用三维模型对金属表面缺陷检测进行了模拟．试验结果与理论数值得基本吻合，同时简要介绍了当前涡流检测仿真的发展，这充分显示了这种研究思路在电磁无损检测中的可行性和在实际工程应用中的重大意义．
．２０世纪９０年代是国际无损检测技术发展的又
［６］
一个兴旺时期，其特点是计算机技术不断向无损检测领域渗透，使得无损检测仪器的改进得到很大提高
．
随着无损检测技术的不断发展，不仅要求检出缺陷的有无，还要对缺陷进行定量、定性，进而对检测对象做出无损评价．这可以通过试验或数值模拟计算的方法得到，有助于对特定的检测对象进行有效的检测时费力
［１２］
［１１］
２ ＡＮＳＹＳ在无损检测中的应用
２．１ ＡＣＦＭ缺陷检测２．１．１ ＡＣＦＭ原理
根据楞次定律，电磁波在导体中传播时，导体中将产生感应电流，而感应电流分布及大小与导体的电导特性有关．如果让交变电流垂直于样品平面，当被测样品中无缺陷时感应电流均匀分布，电流线平行，如果存在缺陷，电流线会在缺陷边缘处产生汇聚和偏转，两端电流密度比激励电流要大得多，存在一定的奇异性，这种电流的变化会产生一个偶极子磁场［１６－１７］，如图１所示．
在缺陷两端电流最密集，会产生两个Ｂｚ峰值，根据两峰值之间的距离可以确定缺陷的长度；沿缺陷方向Ｂｘ值受扰动，在缺陷最深处达到最小值．因此ＡＣＦＭ检测可以通过分析Ｂｚ和Ｂｘ获得与缺陷有关的长度、深度信息．
，通过试验手段
具有相当的可靠性，但是仅通过试验来积累经验相当的费
，并且对于新兴的无损检测技术，如ＡＣＦＭ方法，
这方面的信息相对较少，在实际检测过程中也存在一定难度，作为一种新型技术，需要进一步对测量的可行性进行完善研究，通常可用一定的仿真软件进行模拟．随着数字技术，尤其是有限元方法的广泛应用，它可以方便处理复杂形状的边界和交界面解决．
［１３］
，电磁场问题的数值分析也得以
１ ＡＮＳＹＳ
ＡＮＳＹＳ是当前可视化的面向科学计算的优秀仿真科
磁
收稿日期：２００９－０２－２４基金项目：国家自然科学基金资助项目（６０６７２１４４）．作者简介：冯蒙丽（１９８１—），女，河北省保定人，硕士，主要从事无损检测、模拟仿真相关研究．
此外感应电流存在趋肤效应即电流趋向于在导体表面附近流动，而且电流密度向导体内部成指数衰减，根据［１８］
理论，趋肤深度δ＝，其中ｆ是电磁波的频率，μ和
μσ
σ分别是导体材料的磁导率和电导率，根据这一关系，对某一特定的导体材料，可以求出每一种激发频率所对应的趋肤深度．同理，反过来可以通过寻找最佳感应频率，即缺陷对该频率具有最大的响应来估计缺陷深度．相对于用Ｂｘ信息，这种方法估算缺陷深度更加简单直观，在实际应用
中的可操作性也更强，本研究将通过这种方法对激发频率图３ 缺陷附近的电流矢量分布
进行选取．
图１ 缺陷周围电流分布
２．１．２ 模型建立
取尺寸为３００ｍｍ×３００ｍｍ×３ｍｍ的铝板，设磁导率为１，铝板正中心长方体缺陷尺寸为１０ｍｍ×１ｍｍ×１ｍｍ，激励线圈尺寸为４０ｍｍ×２５ｍｍ×２５ｍｍ，厚度１ｍｍ，匝数８００Ｎ，相对磁导率１，水平放置在距离裂缝４ｍｍ的空气中，通频率为５００～２００００Ｈｚ的正弦电流
，如图２所示．
图２ 铝板、线圈位置示意图
ｆｉｎ 采用ｓｏｌｉｄ９７单元划分线圈、铝板以及空气场，采用ｉｎ－
问题建立为闭域问题求解１１１划分远场，同时使用ｍｅｓｈ．２００设置非解区域，把开域２．１．３ 仿真结果
将激励线圈放在缺陷正上方，通过对不同频率下的磁场信号进行比较，选取６０００Ｈｚ的最佳激发频率进行激发．
截取了缺陷附近３０ｍｍ×３０ｍｍ范围，从铝板表层到深度１ｍｍ的节点电流值，发现在线圈有效激励范围之内，缺陷附近电流在缺陷两端产生的磁场出现汇聚．电流清晰的显示了缺陷部分的变化趋势．将截面锁定在铝板表层
，放大后的情景如图３所示．
在铝板表层到深度１ｍｍ，缺陷附近３０ｍｍ×３０ｍｍ范围内磁场分布如图４．在大范围内激励线圈磁场占主导地位，在缺陷附近，感应电流所产生的磁场占据优势．在图中可以看出磁场从缺陷下端向下，在缺陷上端方向逐渐朝上的趋势，这样在缺陷下端会出现Ｂｚ的最小值，
在上端出现Ｂｚ的最大值．
图４ 仿真缺陷周围磁场分布
２．１．４ 缺陷测量
根据趋肤深度公式，及各种激发频率下结果进行比较，对不同６０００Ｈｚ激发频率下铝板上方０．１ｍｍ处沿缺陷方向２０ｍｍ长度范围内的磁场Ｂｚ图５所示．
数据进行了采集．
结果如
图５ 磁场二维分布
从图５中可以看出缺陷长度为１０ｍｍ（在５～１５ｍｍ之间）．在一维数据的基础上，测量高度０．１ｍｍ，缺陷正上方１５ｍｍ×１５ｍｍ范围内磁场分布如图６所示．在缺陷两端分别出现了一个磁场的极值，两个极值之间的距离就是缺陷长度．可以看到磁场信息清晰准确地显示了缺陷位置和长度．
３ 结束语
利用仿真模型给出了ＡＣＦＭ检测的最佳激发频率，磁场以及电流分布清晰的显示了缺陷长度信息，仿真得到Ｂｚ曲线与ＡＣＦＭ理论相符．涡流检测的相关结果也显示了仿真模拟的可靠性．
随着时代的发展，无损检测对信号精度的要求越来越高，对实验方法、仪器改进也越加迫切，单纯的实验测量获取数据具有周期长，数据少，成本高，尤其对新测量方法图６ 沿缺陷方向２０ｍｍ长度范围内磁场
此外，利用仿真模型可以检验在不同深度下的缺陷检测的效果．可以用来预测在不同深度，不同测量高度下磁场信号所反映信息的准确度．
２．２ 涡流检测仿真简介
在涡流检测中，大量的数值分析也是依靠有限元仿真来实现的，尤其是针对检测线圈的优化设计，模拟实际检测条件进行分析，可以方便迅速的得到探头设计中元件的最佳位置，理论上，可对各种条件下的缺陷进行仿真，而不需要大量的人工缺陷式样．
图７
为铝合金厚板上长方形裂纹的涡流检测．
图７ 涡流检测ＡＮＳＹＳ仿真模型
图８
为钢管远场涡流缺陷检测模型．
图８ 钢管远场涡流缺陷检测模型
三维仿真结果可将电流磁场情况直观的表现出来．此
外针对管道检测［２０］
（铁磁性管道腐蚀远场涡流检测性能的改进，涡流检测的数值模拟与缺陷定量分析），通过数值模拟在传感器改进，性能检测方面都取得了一定成果．
（ＡＣＦＭ）数据获取难，设备改进不方便等缺点，已经远远不能满足当前研究的要求，而仿真技术随着大型有限元软件的不断开发，尤其是ＡＮＳＹＳ的出现，有效地弥补了以上不足，可以针对各种模型，缺陷，探测器进行仿真模拟，从而达到较快完善新测试方法，对各种探测方法、探测器进行比较改进，获取最佳测试参数（激发频率，探测高度，探测线圈尺寸）的目的，同时，针对各种实际情况，有效的模拟也可以为其提供有价值的前期参考，以节省大量的人力物力．
此外，随着近年来各种电磁反演技术的发展，有效快速的仿真可以方便地获得尽可能多的数据对现有的反演技术进行验证，从而促进成像技术的完善，推动无损检测可视技术的快速发展．可以预见，随着数字技术的不断进步，更快速、更可靠和低成本的无损检测设计将更广泛地被（有限元方法在涡流传感器设计中的应用）采用．
参考文献：
［１］ 丁鸿佳，刘士杰．我国弱磁测量研究的进展［Ｊ］．地球
物理学报，１９９７（４０）：２３８－２４８．［２］ 程志虎，蒋安之．水下无损检测技术的发展［Ｊ］．无损
检测，１９９８，２０（８）：２３２－２３５．［３］ 刘贵民，马丽丽，郑铁军．无损检测技术在再制造工
程中的应用展望［Ｊ］．中国表面工程，２００６，１９（５）：１１８－１２０．［４］ 宋生奎，宫敬，胡利明，等．油气管道内检测技术研究
进展［Ｊ］．石油工程建设２００５，３０（２）：１０－１３．［５］ 夏灵，肖国臻，吕维雪．生物电磁学的研究动态［Ｊ］．生
物物理学报，１９９７，１３（３）：５１９－５２４．［６］ 安治永，李应红，梁华，等．无损检测在航空维修中的
应用［Ｊ］．无损检测，２００６，２８（１１）：５９８－６０１．［７］ 元和平．电磁检测技术装备及应用［Ｊ］．石油机械，
２００５，３３（１）：７７－８０．［８］ ＳＱＵＩＤＦｌｅｅｔＥＭｉｃｒｏｓｃｏｐｙＦ，ＣｈａｔｒａｐｈｏｒｎｏｆＡｃｔｉｖｅＳ，ＷｅｌｌｓｔｏｏｄＣｉｒｃｕｉｔ［ＦＣ．ＨＴｓＳｃａｎｎｉｎｇ
［９］ ｏｎＳＱＵＩＤｃｈａｔｒａｐｈｏｒｎａｐｐｌｉｅｄｓｕｐｅｒｃｏｎｄｕｃｔｉｖｉｔｙ，１９９９，９（２）Ｊ］：．４１０３ＩＥＥＥ－ｔｒａｎｓａｃｔｉｏｎ４１０６．ｌｅｔｔｅｒ，２ｍｉｃｒｏｃｏｐｙＳ，Ｆｌｅｅｔ０００，７６（１６）ｏｆ：ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄＥＦ，Ｗｅｌｌｓｔｏｏｄ２３０４－２３０６ｃｉｒｃｕｉｔｓＦ．
［ＪＣ］，．Ａｐｐｌｉｅｄｅｔａｌ．Ｓｃａｎｎｉｎｇ
ｐｈｙｓｉｃｓ（下转第２９页）
ＡＮＳＹＳ在电磁无损检测中的应用
磁
冯蒙丽１，蔡玉平１，赵建君１，陈红叶１，宋春荣１，丁红胜２
（１．军械工程学院基础部，石家庄 ０５０００３；２．北京科技大学应用科学学院，北京 １０００８３）
摘要：介绍了电磁无损检测发展现状及其与仿真技术结合发展的必要性，建立了针对交流磁场检测（ＡＣＦＭ）金属
缺陷的仿真模型，列出了磁场、电流仿真方面的理论分析，同时简单介绍了涡流检测仿真的发展．展示了仿真技术在无损检测实际工程中的重大意义．关键词：ＡＮＳＹＳ；无损检测；ＡＣＦＭ；涡流检测中图分类号：ＴＰ２７４．５；Ｏ４４１文献标识码：Ａ文章编号：１００６－０７０７（２００９）０６－００２４－０３ 无损检测技术以不损坏检测对象的使用性为前提，以材料的物理性质为理论基础，其发展过程几乎利用了世界上所有物理研究的新成就，新方法，在航空，医学，机械材料，石油管道等领域具有广泛的应用价值
［１－７］
技应用软件．它是当前有限元分析软件中的佼佼者，它拥有丰富和完善的单元库、材料模型库和求解器，保证了它能够高效的求解各类电磁场问题，以及多场耦合问题
［１４－１５］
．．
实现无损检测的方法有多种，例如超声检测、射线检测、磁记忆检测、电磁检测等，其中电磁检测主要包括传统涡流检测以及近年发展起来的交变磁场检测（ＡＣＦＭ）．并且随着磁测量技术，尤其是２０世纪８０年代后随着ＳＱＵＩＤ的快速发展，电磁检测在电子电路方面又开拓出了一片新的领域
［８－１０］
本研究主要是针对当前新兴的ＡＣＦＭ无损检测手段先进行仿真研究，再与理论数值相比较，从而为实际检测系统中缺陷的定量研究提供理论上的指导．为使得出的仿真结果更具普遍指导意义，采用三维模型对金属表面缺陷检测进行了模拟．试验结果与理论数值得基本吻合，同时简要介绍了当前涡流检测仿真的发展，这充分显示了这种研究思路在电磁无损检测中的可行性和在实际工程应用中的重大意义．
．２０世纪９０年代是国际无损检测技术发展的又
［６］
一个兴旺时期，其特点是计算机技术不断向无损检测领域渗透，使得无损检测仪器的改进得到很大提高
．
随着无损检测技术的不断发展，不仅要求检出缺陷的有无，还要对缺陷进行定量、定性，进而对检测对象做出无损评价．这可以通过试验或数值模拟计算的方法得到，有助于对特定的检测对象进行有效的检测时费力
［１２］
［１１］
２ ＡＮＳＹＳ在无损检测中的应用
２．１ ＡＣＦＭ缺陷检测２．１．１ ＡＣＦＭ原理
根据楞次定律，电磁波在导体中传播时，导体中将产生感应电流，而感应电流分布及大小与导体的电导特性有关．如果让交变电流垂直于样品平面，当被测样品中无缺陷时感应电流均匀分布，电流线平行，如果存在缺陷，电流线会在缺陷边缘处产生汇聚和偏转，两端电流密度比激励电流要大得多，存在一定的奇异性，这种电流的变化会产生一个偶极子磁场［１６－１７］，如图１所示．
在缺陷两端电流最密集，会产生两个Ｂｚ峰值，根据两峰值之间的距离可以确定缺陷的长度；沿缺陷方向Ｂｘ值受扰动，在缺陷最深处达到最小值．因此ＡＣＦＭ检测可以通过分析Ｂｚ和Ｂｘ获得与缺陷有关的长度、深度信息．
，通过试验手段
具有相当的可靠性，但是仅通过试验来积累经验相当的费
，并且对于新兴的无损检测技术，如ＡＣＦＭ方法，
这方面的信息相对较少，在实际检测过程中也存在一定难度，作为一种新型技术，需要进一步对测量的可行性进行完善研究，通常可用一定的仿真软件进行模拟．随着数字技术，尤其是有限元方法的广泛应用，它可以方便处理复杂形状的边界和交界面解决．
［１３］
，电磁场问题的数值分析也得以
１ ＡＮＳＹＳ
ＡＮＳＹＳ是当前可视化的面向科学计算的优秀仿真科
磁
收稿日期：２００９－０２－２４基金项目：国家自然科学基金资助项目（６０６７２１４４）．作者简介：冯蒙丽（１９８１—），女，河北省保定人，硕士，主要从事无损检测、模拟仿真相关研究．
此外感应电流存在趋肤效应即电流趋向于在导体表面附近流动，而且电流密度向导体内部成指数衰减，根据［１８］
理论，趋肤深度δ＝，其中ｆ是电磁波的频率，μ和
μσ
σ分别是导体材料的磁导率和电导率，根据这一关系，对某一特定的导体材料，可以求出每一种激发频率所对应的趋肤深度．同理，反过来可以通过寻找最佳感应频率，即缺陷对该频率具有最大的响应来估计缺陷深度．相对于用Ｂｘ信息，这种方法估算缺陷深度更加简单直观，在实际应用
中的可操作性也更强，本研究将通过这种方法对激发频率图３ 缺陷附近的电流矢量分布
进行选取．
图１ 缺陷周围电流分布
２．１．２ 模型建立
取尺寸为３００ｍｍ×３００ｍｍ×３ｍｍ的铝板，设磁导率为１，铝板正中心长方体缺陷尺寸为１０ｍｍ×１ｍｍ×１ｍｍ，激励线圈尺寸为４０ｍｍ×２５ｍｍ×２５ｍｍ，厚度１ｍｍ，匝数８００Ｎ，相对磁导率１，水平放置在距离裂缝４ｍｍ的空气中，通频率为５００～２００００Ｈｚ的正弦电流
，如图２所示．
图２ 铝板、线圈位置示意图
ｆｉｎ 采用ｓｏｌｉｄ９７单元划分线圈、铝板以及空气场，采用ｉｎ－
问题建立为闭域问题求解１１１划分远场，同时使用ｍｅｓｈ．２００设置非解区域，把开域２．１．３ 仿真结果
将激励线圈放在缺陷正上方，通过对不同频率下的磁场信号进行比较，选取６０００Ｈｚ的最佳激发频率进行激发．
截取了缺陷附近３０ｍｍ×３０ｍｍ范围，从铝板表层到深度１ｍｍ的节点电流值，发现在线圈有效激励范围之内，缺陷附近电流在缺陷两端产生的磁场出现汇聚．电流清晰的显示了缺陷部分的变化趋势．将截面锁定在铝板表层
，放大后的情景如图３所示．
在铝板表层到深度１ｍｍ，缺陷附近３０ｍｍ×３０ｍｍ范围内磁场分布如图４．在大范围内激励线圈磁场占主导地位，在缺陷附近，感应电流所产生的磁场占据优势．在图中可以看出磁场从缺陷下端向下，在缺陷上端方向逐渐朝上的趋势，这样在缺陷下端会出现Ｂｚ的最小值，
在上端出现Ｂｚ的最大值．
图４ 仿真缺陷周围磁场分布
２．１．４ 缺陷测量
根据趋肤深度公式，及各种激发频率下结果进行比较，对不同６０００Ｈｚ激发频率下铝板上方０．１ｍｍ处沿缺陷方向２０ｍｍ长度范围内的磁场Ｂｚ图５所示．
数据进行了采集．
结果如
图５ 磁场二维分布
从图５中可以看出缺陷长度为１０ｍｍ（在５～１５ｍｍ之间）．在一维数据的基础上，测量高度０．１ｍｍ，缺陷正上方１５ｍｍ×１５ｍｍ范围内磁场分布如图６所示．在缺陷两端分别出现了一个磁场的极值，两个极值之间的距离就是缺陷长度．可以看到磁场信息清晰准确地显示了缺陷位置和长度．
３ 结束语
利用仿真模型给出了ＡＣＦＭ检测的最佳激发频率，磁场以及电流分布清晰的显示了缺陷长度信息，仿真得到Ｂｚ曲线与ＡＣＦＭ理论相符．涡流检测的相关结果也显示了仿真模拟的可靠性．
随着时代的发展，无损检测对信号精度的要求越来越高，对实验方法、仪器改进也越加迫切，单纯的实验测量获取数据具有周期长，数据少，成本高，尤其对新测量方法图６ 沿缺陷方向２０ｍｍ长度范围内磁场
此外，利用仿真模型可以检验在不同深度下的缺陷检测的效果．可以用来预测在不同深度，不同测量高度下磁场信号所反映信息的准确度．
２．２ 涡流检测仿真简介
在涡流检测中，大量的数值分析也是依靠有限元仿真来实现的，尤其是针对检测线圈的优化设计，模拟实际检测条件进行分析，可以方便迅速的得到探头设计中元件的最佳位置，理论上，可对各种条件下的缺陷进行仿真，而不需要大量的人工缺陷式样．
图７
为铝合金厚板上长方形裂纹的涡流检测．
图７ 涡流检测ＡＮＳＹＳ仿真模型
图８
为钢管远场涡流缺陷检测模型．
图８ 钢管远场涡流缺陷检测模型
三维仿真结果可将电流磁场情况直观的表现出来．此
外针对管道检测［２０］
（铁磁性管道腐蚀远场涡流检测性能的改进，涡流检测的数值模拟与缺陷定量分析），通过数值模拟在传感器改进，性能检测方面都取得了一定成果．
（ＡＣＦＭ）数据获取难，设备改进不方便等缺点，已经远远不能满足当前研究的要求，而仿真技术随着大型有限元软件的不断开发，尤其是ＡＮＳＹＳ的出现，有效地弥补了以上不足，可以针对各种模型，缺陷，探测器进行仿真模拟，从而达到较快完善新测试方法，对各种探测方法、探测器进行比较改进，获取最佳测试参数（激发频率，探测高度，探测线圈尺寸）的目的，同时，针对各种实际情况，有效的模拟也可以为其提供有价值的前期参考，以节省大量的人力物力．
此外，随着近年来各种电磁反演技术的发展，有效快速的仿真可以方便地获得尽可能多的数据对现有的反演技术进行验证，从而促进成像技术的完善，推动无损检测可视技术的快速发展．可以预见，随着数字技术的不断进步，更快速、更可靠和低成本的无损检测设计将更广泛地被（有限元方法在涡流传感器设计中的应用）采用．
参考文献：
［１］ 丁鸿佳，刘士杰．我国弱磁测量研究的进展［Ｊ］．地球
物理学报，１９９７（４０）：２３８－２４８．［２］ 程志虎，蒋安之．水下无损检测技术的发展［Ｊ］．无损
检测，１９９８，２０（８）：２３２－２３５．［３］ 刘贵民，马丽丽，郑铁军．无损检测技术在再制造工
程中的应用展望［Ｊ］．中国表面工程，２００６，１９（５）：１１８－１２０．［４］ 宋生奎，宫敬，胡利明，等．油气管道内检测技术研究
进展［Ｊ］．石油工程建设２００５，３０（２）：１０－１３．［５］ 夏灵，肖国臻，吕维雪．生物电磁学的研究动态［Ｊ］．生
物物理学报，１９９７，１３（３）：５１９－５２４．［６］ 安治永，李应红，梁华，等．无损检测在航空维修中的
应用［Ｊ］．无损检测，２００６，２８（１１）：５９８－６０１．［７］ 元和平．电磁检测技术装备及应用［Ｊ］．石油机械，
２００５，３３（１）：７７－８０．［８］ ＳＱＵＩＤＦｌｅｅｔＥＭｉｃｒｏｓｃｏｐｙＦ，ＣｈａｔｒａｐｈｏｒｎｏｆＡｃｔｉｖｅＳ，ＷｅｌｌｓｔｏｏｄＣｉｒｃｕｉｔ［ＦＣ．ＨＴｓＳｃａｎｎｉｎｇ
［９］ ｏｎＳＱＵＩＤｃｈａｔｒａｐｈｏｒｎａｐｐｌｉｅｄｓｕｐｅｒｃｏｎｄｕｃｔｉｖｉｔｙ，１９９９，９（２）Ｊ］：．４１０３ＩＥＥＥ－ｔｒａｎｓａｃｔｉｏｎ４１０６．ｌｅｔｔｅｒ，２ｍｉｃｒｏｃｏｐｙＳ，Ｆｌｅｅｔ０００，７６（１６）ｏｆ：ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄＥＦ，Ｗｅｌｌｓｔｏｏｄ２３０４－２３０６ｃｉｒｃｕｉｔｓＦ．
［ＪＣ］，．Ａｐｐｌｉｅｄｅｔａｌ．Ｓｃａｎｎｉｎｇ
ｐｈｙｓｉｃｓ（下转第２９页）